[發(fā)明專利]一種單片機圓晶切片裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110531254.6
• 申請日: 2021-05-17
• 公開（公告）號: CN113172782A
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 伍路旺;盧美鴻
• 申請（專利權(quán)）人: 伍路旺
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯牡丹

本發(fā)明公開了一種單片機圓晶切片裝置，包括工作臺、支架、切刀、心軸、驅(qū)動電機、第一電動伸縮桿、晶棒夾持裝置、支撐裝置和接片裝置，工作臺的頂端的后部與支架的底端連接，支架的上部與第一電動伸縮桿的頂端連接，第一電動伸縮桿的下部與驅(qū)動電機連接，驅(qū)動電機的輸出端與心軸的后端連接，心軸的前部與切刀連接，晶棒夾持裝置包括第一真空泵、第一吸盤、兩組托板、兩組托桿、兩組第二電動伸縮桿、第三電動伸縮桿、固定板和固定座，固定座的底端與工作臺的頂端連接，固定座的頂端與固定板的底端連接，固定板的右端設(shè)置有固定槽，第一吸盤位于固定槽內(nèi)。本發(fā)明，能夠?qū)⒕О艄潭▕A持，自動切割，圓晶的厚度統(tǒng)一，省時省力。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及圓晶加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種單片機圓晶切片裝置。

背景技術(shù)

單片機也被稱為單片微控器，屬于一種集成式電路芯片，晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。目前在晶圓切片的過程中，是通過將硅晶棒進行切片處理，從而產(chǎn)生晶圓，但目前在切片是通過人工進行切片，這樣導(dǎo)致在切片的過程中角度不好把握，即是晶圓的厚度不統(tǒng)一，進而不方便人們的使用，另外由于人工切片速度緩慢，不利于生產(chǎn)。

為此，提出一種單片機圓晶切片裝置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種單片機圓晶切片裝置，能夠?qū)⒕О艄潭▕A持，自動切割，圓晶的厚度統(tǒng)一，省時省力，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種單片機圓晶切片裝置，包括工作臺、支架、切刀、心軸、驅(qū)動電機、第一電動伸縮桿、晶棒夾持裝置、支撐裝置和接片裝置，所述工作臺的頂端的后部與所述支架的底端連接，所述支架的上部與所述第一電動伸縮桿的頂端連接，所述第一電動伸縮桿的下部與所述驅(qū)動電機連接，所述驅(qū)動電機的輸出端與所述心軸的后端連接，所述心軸的前部與所述切刀連接，所述晶棒夾持裝置包括第一真空泵、第一吸盤、兩組托板、兩組托桿、兩組第二電動伸縮桿、第三電動伸縮桿、固定板和固定座，所述固定座的底端與所述工作臺的頂端連接，所述固定座的頂端與所述固定板的底端連接，所述固定板的右端設(shè)置有固定槽，所述第一吸盤位于所述固定槽內(nèi)，所述第一真空泵的輸出端穿過所述固定板與所述第一吸盤連接，所述固定板的右端的上部和下部分別與兩組所述托桿的左端連接，兩組所述托桿的右部的內(nèi)側(cè)分別與兩組所述第二電動伸縮桿的一端連接，兩組所述第二電動伸縮桿的另一端分別與兩組所述托板的外側(cè)連接，所述固定座的左端與所述第三電動伸縮桿的右端連接，所述工作臺的頂端的左部設(shè)置有固定塊，所述第三電動伸縮桿的左端與所述固定塊的右端連接，所述接片裝置包括第二吸盤、第二真空泵、第四電動伸縮桿和接片板，所述工作臺的頂端的右部設(shè)置有接片座，所述接片座的左端與所述第四電動伸縮桿的右端連接，所述第四電動伸縮桿的左端與所述接片板的右端連接，所述接片板的左端設(shè)置有接片槽，所述第二吸盤位于所述接片槽內(nèi)，所述第二真空泵的輸出端穿過所述接片板與所述第二吸盤連接。

優(yōu)選的，所述支撐裝置包括兩組定位柱、三組定位伸縮桿、支撐板和兩組擋板，所述兩組所述定位柱的底端均與所述工作臺的頂端連接，兩組所述定位柱的內(nèi)側(cè)分別與兩組所述定位伸縮桿的一端連接，所述另一組定位伸縮桿的底端與所述工作臺的頂端連接，所述定位伸縮桿的頂端與所述支撐板的底端連接，另兩組所述定位伸縮桿的另一端分別與兩組所述擋板的外側(cè)連接。

優(yōu)選的，兩組所述托板、所述支撐板和兩組所述擋板均呈圓弧形，且兩組所述托板的內(nèi)側(cè)、所述支撐板的頂端和兩組所述擋板的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有防護墊。

優(yōu)選的，所述切刀由嵌入電鍍鎳矩陣黏合劑中的研磨金剛石制成。