[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于TEM/SEM電鏡的原位多參數(shù)測(cè)試芯片結(jié)構(gòu)及制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110526897.1
• 申請(qǐng)日: 2021-05-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113203758B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-12-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 聶萌;黃語(yǔ)恒;尹奎波;陳姝寧
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01N23/04
• 分類(lèi)號(hào): G01N23/04;G01N23/2251;G01N3/02;G01R27/08
• 代理公司: 南京瑞弘專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32249
• 代理人: 任志艷

1.一種用于TEM/SEM電鏡的原位多參數(shù)測(cè)試芯片結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括靜電執(zhí)行器、熱執(zhí)行器和電極引線(xiàn)；靜電執(zhí)行器、熱執(zhí)行器和電極引線(xiàn)分別關(guān)于同一中心軸線(xiàn)對(duì)稱(chēng)；

靜電執(zhí)行器上設(shè)置有第一樣品臺(tái)，所述第一樣品臺(tái)隨靜電執(zhí)行器沿中心軸線(xiàn)運(yùn)動(dòng)；

熱執(zhí)行器上設(shè)置有第二樣品臺(tái)，所述第二樣品臺(tái)隨熱執(zhí)行器沿中心軸線(xiàn)運(yùn)動(dòng)；

第一樣品臺(tái)和第二樣品臺(tái)上設(shè)置有絕緣層；

電極引線(xiàn)包括第一電極引線(xiàn)、第二電極引線(xiàn)、第三電極引線(xiàn)和第四電極引線(xiàn)，第一電極引線(xiàn)和第二電極引線(xiàn)的一端均位于第一樣品臺(tái)上，第三電極引線(xiàn)和第四電極引線(xiàn)的一端均位于第二樣品臺(tái)上；第一電極引線(xiàn)、第二電極引線(xiàn)、第三電極引線(xiàn)和第四電極引線(xiàn)的另一端均連接外部測(cè)試電路，電極引線(xiàn)與外部測(cè)試電路構(gòu)成四探針測(cè)試電路；

所述外部測(cè)試電路包括電壓表和電流源、第一電極引線(xiàn)和第三電極引線(xiàn)的另一端用于連接電壓表，第二電極引線(xiàn)和第四電極引線(xiàn)的另一端用于電流源、電極引線(xiàn)、電壓表和電流源構(gòu)成四探針測(cè)試電路；

所述靜電執(zhí)行器包括第一質(zhì)量塊、支撐梁、第一引線(xiàn)梁、活動(dòng)齒執(zhí)行梁和固定齒執(zhí)行梁；

第一質(zhì)量塊位于中心軸線(xiàn)上，是靜電執(zhí)行器的對(duì)稱(chēng)軸，支撐梁、第一引線(xiàn)梁、活動(dòng)齒執(zhí)行梁以及固定齒執(zhí)行梁均關(guān)于第一質(zhì)量塊對(duì)稱(chēng)，支撐梁、第一引線(xiàn)梁、活動(dòng)齒執(zhí)行梁分別與第一質(zhì)量塊垂直連接；

第一引線(xiàn)梁兩端連接有第一引線(xiàn)梁錨點(diǎn)，第一引線(xiàn)梁上以及第一引線(xiàn)梁錨點(diǎn)上均設(shè)置有絕緣層；

在第一質(zhì)量塊上近熱執(zhí)行器的一端為第一樣品臺(tái)；第一電極引線(xiàn)和第二電極引線(xiàn)位于第一引線(xiàn)梁上，由于第一引線(xiàn)梁上絕緣層的存在，實(shí)現(xiàn)了第一電極引線(xiàn)、第二電極引線(xiàn)與第一引線(xiàn)梁之間的電隔離；第一電極引線(xiàn)和第二電極引線(xiàn)的一端位于第一樣品臺(tái)，第一引線(xiàn)梁錨點(diǎn)絕緣層上還設(shè)置有電極引線(xiàn)壓焊塊，第一電極引線(xiàn)和第二電極引線(xiàn)的另一端通過(guò)電極引線(xiàn)壓焊塊與外部測(cè)試電路連接；

支撐梁的兩端連接有支撐梁錨點(diǎn)，所述的支撐梁為兩個(gè)，活動(dòng)齒執(zhí)行梁和固定齒執(zhí)行梁均設(shè)置在兩個(gè)支撐梁之間；

活動(dòng)齒執(zhí)行梁上垂直連接有活動(dòng)齒，固定齒執(zhí)行梁上垂直連接有固定齒，活動(dòng)齒和固定齒長(zhǎng)度相同，且一一對(duì)應(yīng)設(shè)置；

固定齒執(zhí)行梁與活動(dòng)齒執(zhí)行梁平行，固定齒執(zhí)行梁包括第一固定齒執(zhí)行梁和第二固定齒執(zhí)行梁，第一固定齒執(zhí)行梁和第二固定齒執(zhí)行梁結(jié)構(gòu)相同，且關(guān)于第一質(zhì)量塊對(duì)稱(chēng)，第一固定齒執(zhí)行梁和第二固定齒執(zhí)行梁遠(yuǎn)離第一質(zhì)量塊的一端分別連接有固定齒執(zhí)行梁錨點(diǎn)；

支撐梁錨點(diǎn)和固定齒執(zhí)行梁錨點(diǎn)上均設(shè)置有電極引線(xiàn)壓焊塊，用于外界靜電執(zhí)行器施加激勵(lì)信號(hào)；

熱執(zhí)行器包括第二質(zhì)量塊、熱沉梁、V型梁和第二引線(xiàn)梁；

所述第二質(zhì)量塊位于中心軸線(xiàn)上，熱沉梁、V型梁和第二引線(xiàn)梁分別與第二質(zhì)量塊連接，且關(guān)于第二質(zhì)量塊對(duì)稱(chēng)，熱沉梁分布在V型梁的兩側(cè)；第二引線(xiàn)梁位于第二質(zhì)量塊的近靜電執(zhí)行器的一端；V型梁的兩端連接有V型梁錨點(diǎn)，第二引線(xiàn)梁的兩端連接有第二引線(xiàn)梁錨點(diǎn)，熱沉梁兩端連接有熱沉梁錨點(diǎn)；

第二引線(xiàn)梁上以及第二引線(xiàn)梁兩端的錨點(diǎn)上均設(shè)置有絕緣層；

在第二質(zhì)量塊上近靜電執(zhí)行器的一端為第二樣品臺(tái)；第三電極引線(xiàn)和第四電極引線(xiàn)位于第二引線(xiàn)梁上，第三電極引線(xiàn)和第四電極引線(xiàn)的另一端通過(guò)電極引線(xiàn)壓焊塊與外部測(cè)試電路連接。