[發(fā)明專利]用于半導(dǎo)體裝置的引線鍵合在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110525524.2 | 申請(qǐng)日： | 2021-05-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN114078797A | 公開（公告）日： | 2022-02-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 雷陽(yáng);狄曉峰;樓瑜赟;錢中華;嚴(yán)俊榮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 西部數(shù)據(jù)技術(shù)公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L23/488 | 分類號(hào)： | H01L23/488;H01L23/49;H01L21/603 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人： | 邱軍 |
| 地址： | 美國(guó)加利*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 半導(dǎo)體 裝置 引線 | ||
1.一種半導(dǎo)體裝置，其包括：
集成電路裸片，其具有多個(gè)鍵合墊；以及
多條鍵合線，所述多條鍵合線中的每一個(gè)通過(guò)球形鍵合物理連接到所述多個(gè)鍵合墊中的相應(yīng)一個(gè)鍵合墊，
其中每個(gè)球形鍵合與所述相應(yīng)鍵合墊之間的接觸區(qū)域具有非圓形形狀并且所述形狀包含第一對(duì)稱軸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述接觸區(qū)域的所述形狀包含第二對(duì)稱軸，其中所述第二對(duì)稱軸垂直于所述第一對(duì)稱軸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述接觸區(qū)域的所述形狀包含不超過(guò)兩個(gè)對(duì)稱軸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中每個(gè)球形鍵合包含球形鍵合寬度和球形鍵合長(zhǎng)度，并且其中所述球形鍵合長(zhǎng)度與所述球形鍵合寬度的比率大于1.1。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述球形鍵合長(zhǎng)度與所述球形鍵合寬度的所述比率等于或大于2.0。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述球形鍵合長(zhǎng)度是沿著所述第一對(duì)稱軸的所述接觸區(qū)域的所述形狀的最大尺寸。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述鍵合墊中的每一個(gè)包含鍵合墊寬度和鍵合墊長(zhǎng)度，并且其中所述球形鍵合長(zhǎng)度與所述球形鍵合寬度的所述比率等于所述鍵合墊長(zhǎng)度與所述鍵合墊寬度的比率±10％。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述球形鍵合長(zhǎng)度與所述球形鍵合寬度的所述比率等于所述鍵合墊長(zhǎng)度與所述鍵合墊寬度的所述比率±5％。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述球形鍵合長(zhǎng)度與所述球形鍵合寬度的所述比率等于所述鍵合墊長(zhǎng)度與所述鍵合墊寬度的所述比率。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述接觸區(qū)域大于直徑等于所述球形鍵合寬度的圓的區(qū)域。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述接觸區(qū)域的所述形狀選自由以下各者組成的群組：體育場(chǎng)形、卵形、橢圓形、矩形、圓角矩形和菱形。
12.一種用于形成球形鍵合的方法，所述方法包括：
通過(guò)毛細(xì)管的孔定位鍵合線，使得所述鍵合線的端部延伸通過(guò)所述毛細(xì)管的遠(yuǎn)側(cè)開口，所述毛細(xì)管的所述遠(yuǎn)側(cè)開口具有非圓形形狀；
在所述鍵合線的所述端部處形成球；
使所述球與半導(dǎo)體裝置的鍵合墊的表面接觸；
用所述毛細(xì)管的所述遠(yuǎn)側(cè)開口模制所述球以將所述球形成為預(yù)定形狀；以及
將所述球焊接到所述鍵合墊的所述表面以形成球形鍵合。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中所述球形鍵合與所述鍵合墊之間的接觸區(qū)域具有非圓形形狀并且所述形狀包含第一對(duì)稱軸。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述接觸區(qū)域的所述形狀包含第二對(duì)稱軸，其中所述第二對(duì)稱軸垂直于所述第一對(duì)稱軸。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述接觸區(qū)域的所述形狀選自由以下各者組成的群組：體育場(chǎng)形、卵形、橢圓形、矩形、圓角矩形和菱形。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述球形鍵合包含球形鍵合寬度和球形鍵合長(zhǎng)度，并且其中所述球形鍵合長(zhǎng)度與所述球形鍵合寬度的比率大于1.1。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述鍵合墊包含鍵合墊寬度和鍵合墊長(zhǎng)度，并且其中所述球形鍵合長(zhǎng)度與所述球形鍵合寬度的所述比率等于所述鍵合墊長(zhǎng)度與所述鍵合墊寬度的比率±10％。
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