[發(fā)明專利]半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體液位防溢出二級(jí)保護(hù)裝置及保護(hù)方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110515512.1
• 申請(qǐng)日: 2021-05-12
• 公開（公告）號(hào): CN113319052A
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 翁劍峰;賀賢漢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/04
• 分類號(hào): B08B3/04;H01L21/67;G01F23/00
• 代理公司: 上海申浩律師事務(wù)所 31280
• 代理人: 趙建敏

1.半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體液位防溢出二級(jí)保護(hù)裝置，其特征在于：包括第一液位傳感器(8)和第二液位傳感器(9)；

所述第一液位傳感器(8)設(shè)置于半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體(1)內(nèi)部，用于檢測(cè)并限制半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體(1)內(nèi)部能夠注入的液體最高液位；

所述第二液位傳感器(9)設(shè)置于半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體(1)內(nèi)部，第一液位傳感器(8)上方，用于檢測(cè)并限制半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體(1)內(nèi)部能夠注入的液體最高液位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體液位防溢出二級(jí)保護(hù)裝置，其特征在于：所述第二液位傳感器(9)設(shè)置于第一液位傳感器(8)上方2-10cm處。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體液位防溢出二級(jí)保護(hù)裝置，其特征在于：所述第一液位傳感器(8)和第二液位傳感器(9)的信號(hào)輸出端連接至PLC控制單元(7)信號(hào)輸入端，所述PLC控制單元(7)信號(hào)輸出端連接至電磁閥(4)信號(hào)輸入端，所述電磁閥(4)通過壓縮空氣(5)的通斷控制供液閥門(3)的開關(guān)，所述供液閥門(3)的進(jìn)液口連接至供液桶(2)，供液閥門(3)的出液口連接至半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體(1)內(nèi)側(cè)底部。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體液位防溢出二級(jí)保護(hù)裝置，其特征在于：所述PLC控制單元(7)的開關(guān)信號(hào)輸入端連接手動(dòng)供液按鈕(6)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體液位防溢出二級(jí)保護(hù)裝置，其特征在于：所述第一液位傳感器(8)和第二液位傳感器(9)均采用喜開理液位開關(guān)KML-50-2C-A-0，兩個(gè)液位開關(guān)后門的氣管接口分別連接一根氣管，氣管另一端分別伸入至半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體(1)內(nèi)部，第二液位傳感器(9)對(duì)應(yīng)的氣管另一端位置高于第一液位傳感器(8)對(duì)應(yīng)的氣管另一端位置。

6.半導(dǎo)體硅片洗凈機(jī)槽體液位防溢出二級(jí)保護(hù)方法，其特征在于：根據(jù)防溢出二級(jí)保護(hù)裝置的邏輯圖和梯形圖以及電氣原理圖，將增加的第二液位傳感器和原有的第一液位傳感器一起串聯(lián)在整體回路中；

當(dāng)液位達(dá)到第一液位傳感器設(shè)定的最高液位時(shí)，第一液位傳感器會(huì)做出判斷，第一液位傳感器斷開，PLC控制器斷開電磁閥供電，電磁閥即中斷壓縮空氣的供氣，供液閥門關(guān)閉，供液停止；

如果第一液位傳感器未做出判斷，PLC控制器會(huì)繼續(xù)判斷第二液位傳感器是否達(dá)到第二液位傳感器設(shè)定的最高液位，如果未達(dá)到，也就是第一液位傳感器和第二液位傳感器都沒有動(dòng)作后，則繼續(xù)加液，直到第一液位傳感器或者第二液位傳感中的任何一個(gè)出現(xiàn)達(dá)到設(shè)定的最高液位的信號(hào)后，第一液位傳感器和第二液位傳感器中的任何一個(gè)隨即斷開，PLC控制器斷開電磁閥供電，電磁閥即中斷壓縮空氣的供氣，供液閥門關(guān)閉，供液停止。