[發明專利]一種薄膜結構太陽能電池的熱處理裝置在審
| 申請號: | 202110515163.3 | 申請日: | 2021-05-12 |
| 公開(公告)號: | CN113299596A | 公開(公告)日: | 2021-08-24 |
| 發明(設計)人: | 劉一鋒;張志強 | 申請(專利權)人: | 清華大學;清華大學山西清潔能源研究院 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京久維律師事務所 11582 | 代理人: | 杜權 |
| 地址: | 10008*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 薄膜 結構 太陽能電池 熱處理 裝置 | ||
1.一種薄膜結構太陽能電池的熱處理裝置,包括熱處理裝置本體(1)、卡接板(2)、內置腔(4)、加熱絲(6)和內置槽(8),其特征在于:所述熱處理裝置本體(1)的內部設置有內置槽(8),且內置槽(8)的表面固定連接有若干個防滑墊(10),所述內置槽(8)的兩側壁上皆設置有卡接結構(9),所述熱處理裝置本體(1)的內部設置內置腔(4),且內置腔(4)的內部固定連接有加熱絲(6),所述內置腔(4)頂端的熱處理裝置本體(1)內部設置有若干個第二透氣孔(7),所述內置腔(4)下方的熱處理裝置本體(1)內部設置有若干個第一透氣孔(5),所述第一透氣孔(5)的兩側皆設置有推拉門(3)。
2.根據權利要求1所述的一種薄膜結構太陽能電池的熱處理裝置,其特征在于:所述推拉門(3)在熱處理裝置本體(1)的內部活動連接,所述推拉門(3)底端的一側設置有腔體(13),且腔體(13)的內部固定連接有磁鐵(11),所述磁鐵(11)下方的熱處理裝置本體(1)底端活動連接有卡接板(2),且卡接板(2)的一側固定連接有鋼板(12)。
3.根據權利要求1所述的一種薄膜結構太陽能電池的熱處理裝置,其特征在于:所述卡接結構(9)包括推板(901)、連接彈簧(902)、伸縮桿(903)、連接板(904)以及伸縮腔(905),所述連接板(904)固定連接在內置槽(8)的側壁上,所述連接板(904)遠離內置槽(8)的一端固定連接有連接彈簧(902),且連接彈簧(902)的另一端固定連接有推板(901),所述推板(901)的下方設置有伸縮腔(905),且伸縮腔(905)的內部卡解憂伸縮桿(903),所述伸縮桿(903)的另一端與內置槽(8)的側壁固定連接。
4.根據權利要求3所述的一種薄膜結構太陽能電池的熱處理裝置,其特征在于:所述連接板(904)在內置槽(8)的表面設置有三個,且三個連接板(904)之間呈等間距分布。
5.根據權利要求1所述的一種薄膜結構太陽能電池的熱處理裝置,其特征在于:所述防滑墊(10)在內置槽(8)的內部設置有兩組,且兩組防滑墊(10)子啊內置槽(8)表面的橫向中軸線上呈中心對稱分布。
6.根據權利要求2所述的一種薄膜結構太陽能電池的熱處理裝置,其特征在于:所述鋼板(12)與卡接板(2)之間呈焊接連接,所述磁鐵(11)與鋼板(12)之間相吸附。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





