[發明專利]一種高壓硅堆合金加工裝置的合金方法

有效

• 申請號: 202110513073.0
• 申請日: 2021-05-11
• 公開（公告）號: CN113146015B
• 公開（公告）日: 2023-10-24
• 發明（設計）人: 王永彬;王毅
• 申請（專利權）人: 揚州揚杰電子科技股份有限公司
• 主分類號: B23K20/02
• 分類號: B23K20/02
• 代理公司: 揚州市蘇為知識產權代理事務所(普通合伙) 32283
• 代理人: 周全

1.一種高壓硅堆合金的加工裝置，包括工件、環形電磁加熱裝置和工件厚度監測單元，其特征在于，還包括壓力單元、溫度傳感器和控制器；

所述工件由若干晶圓和若干焊片交錯堆疊而成；所述工件放置在所述環形電磁加熱裝置的內部；

所述壓力單元包括氣源和氣缸，所述氣源和氣缸通過供氣管道連通，所述供氣管道上還設有電磁閥；

所述工件的上下表面均設有襯板，所述氣缸的活塞桿的底端抵接所述工件上表面的襯板的頂面；所述溫度傳感器設置在所述襯板靠近所述工件的表面，或者設置在所述環形電磁加熱裝置的內部，用于檢測工件的溫度；

所述環形電磁加熱裝置、工件厚度監測單元、溫度傳感器、氣缸和電磁閥，均與所述控制器通信連接。

2.根據權利要求1所述的一種高壓硅堆合金的加工裝置，其特征在于，還包括冷源，所述冷源具有出風口，所述出風口朝向所述工件的側面或襯板的表面，所述冷源與所述控制器通信連接。

3.利用權利要求2所述的一種高壓硅堆合金的加工裝置的合金方法，其特征在于，

包括以下步驟：

1)堆疊所需層數的工件，并將其置入環形電磁加熱裝置的內部；

2)啟動加工裝置，環形電磁加熱裝置對工件進行加熱，同時，壓力單元的氣缸開始下壓工件；

3)當溫度傳感器檢測到工件溫度達到工作溫度T_工時，維持該溫度并向控制器饋送信號，控制器切斷電磁閥，關閉氣缸的壓縮空氣輸入；

4)氣缸利用缸內的殘余壓縮空氣，對工件進行線性降壓的下壓，下壓過程中監測工件的厚度：

4.1)當d_工≥d_目+β時，維持工件溫度；測量切斷電磁閥至d_工＝d_目+β的時間為t；

若t＞t₀，為工件升溫，進入步驟4.2；

若t≤t₀，為工件降溫，進入步驟4.2；

4.2)當工件厚度監測單元檢測到時，維持工件溫度，進入步驟4.3；

4.3)當工件厚度監測單元檢測到d_工＝d_目時，向控制器饋送信號，控制器停止氣缸動作，工件合金加工完成；

其中，d_工為工件厚度，d_目為目標合金厚度，β為正向接近d_目的敏感厚度范圍，t₀為切斷電磁閥至工件進入敏感厚度范圍的臨界時間。

4.根據權利要求3所述的合金方法，其特征在于，所述工作溫度T_工位于所述焊片的固相線溫度與液相線溫度之間。