[發(fā)明專利]可靈活調(diào)整濺射范圍的物理氣相沉積設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110508314.2
• 申請(qǐng)日: 2021-05-11
• 公開（公告）號(hào): CN112981352B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 方合;張慧;崔世甲;宋維聰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陛通半導(dǎo)體設(shè)備（蘇州）有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 盧炳瓊

1.一種可靈活調(diào)整濺射范圍的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包括腔體、濺射裝置、基座、擋板、驅(qū)動(dòng)裝置、驅(qū)動(dòng)齒輪、傳動(dòng)齒輪及多個(gè)可動(dòng)遮擋單元；所述濺射裝置位于所述腔體頂部；所述基座、擋板、驅(qū)動(dòng)齒輪、傳動(dòng)齒輪及可動(dòng)遮擋單元位于所述腔體內(nèi)，且驅(qū)動(dòng)齒輪、傳動(dòng)齒輪及可動(dòng)遮擋單元位于所述濺射裝置和基座之間；所述擋板包括第一部分和第二部分，所述第一部分沿所述腔體的周向分布，所述第二部分一端與所述第一部分的底部相連接，另一端向所述腔體的中心方向延伸；所述驅(qū)動(dòng)齒輪和傳動(dòng)齒輪相嚙合；所述多個(gè)可動(dòng)遮擋單元位于所述傳動(dòng)齒輪的內(nèi)側(cè)，各所述可動(dòng)遮擋單元包括相互連接的嚙合部和遮擋部，所述嚙合部與所述傳動(dòng)齒輪相嚙合，相鄰的遮擋部部分重疊，以在所述遮擋部的內(nèi)側(cè)形成濺射通道；所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述驅(qū)動(dòng)齒輪相連接；當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)齒輪在所述驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述傳動(dòng)齒輪在嚙合作用下旋轉(zhuǎn)，并帶動(dòng)所述可動(dòng)遮擋單元旋轉(zhuǎn)，由此改變?yōu)R射通道的大小。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括電機(jī)、軸承及轉(zhuǎn)軸；所述電機(jī)位于所述腔體外，所述轉(zhuǎn)軸一端與所述電機(jī)相連接，另一端向上延伸到所述腔體內(nèi)，且與所述驅(qū)動(dòng)齒輪相連接，所述軸承位于所述轉(zhuǎn)軸和所述腔體之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括兩組電機(jī)、軸承及轉(zhuǎn)軸，以自相對(duì)的兩側(cè)驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)齒輪。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述擋板的第二部分位于所述驅(qū)動(dòng)齒輪的下方，所述轉(zhuǎn)軸穿過所述擋板與所述驅(qū)動(dòng)齒輪相連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述擋板的第二部分內(nèi)設(shè)置有第一運(yùn)動(dòng)凹槽，所述傳動(dòng)齒輪的底部設(shè)置有第二運(yùn)動(dòng)凹槽，所述擋板第二部分內(nèi)的所述第一運(yùn)動(dòng)凹槽內(nèi)另開設(shè)有與所述傳動(dòng)齒輪底部開設(shè)的第二運(yùn)動(dòng)凹槽形狀相同且開口方向正對(duì)的第三運(yùn)動(dòng)凹槽，所述物理氣相沉積設(shè)備還包括多個(gè)滾珠，位于所述第三運(yùn)動(dòng)凹槽和第二運(yùn)動(dòng)凹槽之間，所述傳動(dòng)齒輪經(jīng)所述多個(gè)滾珠固定于所述第一運(yùn)動(dòng)凹槽內(nèi)，所述可動(dòng)遮擋單元固定于所述擋板上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述可動(dòng)遮擋單元為3個(gè)以上，所述遮擋部的內(nèi)側(cè)為弧形面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述遮擋部和嚙合部為一體連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述可動(dòng)遮擋單元的材質(zhì)包括金屬和陶瓷中的一種或兩種的結(jié)合。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述傳動(dòng)齒輪的高度大于所述驅(qū)動(dòng)齒輪及所述可動(dòng)遮擋單元的嚙合部的高度。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述物理氣相沉積設(shè)備還包括蓋板，所述蓋板一端與所述擋板相連接，另一端延伸到所述驅(qū)動(dòng)齒輪和傳動(dòng)齒輪的上方。