[發(fā)明專利]激光誘導(dǎo)擊穿光譜分析系統(tǒng)的聯(lián)動裝置及光譜分析系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110506659.4
• 申請日: 2021-05-10
• 公開（公告）號: CN113252618B
• 公開（公告）日: 2023-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊德柱;王瞧;馬玲
• 申請（專利權(quán)）人: 河南豐博自動化有限公司
• 主分類號: G01N21/63
• 分類號: G01N21/63;G01N21/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種激光誘導(dǎo)擊穿光譜分析系統(tǒng)的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述聯(lián)動裝置包括激光器(1)、聚焦透鏡(2)、聯(lián)動組件(3)，

所述聯(lián)動組件(3)包括平臺(301)以及設(shè)置在所述平臺(301)上的光譜采集部件(31)；

樣品(303)放置在所述平臺(301)上；

所述激光器(1)發(fā)出的激光經(jīng)過所述聚焦透鏡(2)，聚焦在所述樣品(303)上的作用點(304)；

所述光譜采集部件(31)跟隨所述平臺(301)移動，且采集方向始終對準所述作用點(304)。

2.如權(quán)利要求1所述的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述光譜采集部件(31)和所述平臺(301)沿所述激光的光軸方向移動。

3.如權(quán)利要求1所述的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述聯(lián)動裝置還包括旋轉(zhuǎn)件(302)，所述旋轉(zhuǎn)件(302)固定在所述平臺(301)上，所述樣品(303)固定在所述旋轉(zhuǎn)件(302)上。

4.如權(quán)利要求1所述的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述光譜采集部件(31)包括光譜采集透鏡(306)、橫連桿(307)以及豎連桿(308)，

所述豎連桿(308)固定在所述平臺(301)上；

所述橫連桿(307)與所述豎連桿(308)活動連接，所述橫連桿(307)可沿所述豎連桿(308)移動；

所述光譜采集透鏡(306)與所述橫連桿(307)活動連接，所述光譜采集透鏡(306)可沿所述橫連桿(307)移動和/或圍繞所述橫連桿(307)旋轉(zhuǎn)，使得所述光譜采集透鏡(306)的采集方向始終對準所述作用點(304)。

5.如權(quán)利要求4所述的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述橫連桿(307)和所述豎連桿(308)為剛性連桿。

6.如權(quán)利要求4所述的聯(lián)動裝置，其特征在于，所述光譜采集透鏡(306)與所述作用點(304)的相對位置固定不變。

7.一種激光誘導(dǎo)擊穿光譜分析系統(tǒng)，包括如權(quán)利要求1-6任一項所述的聯(lián)動裝置、光譜儀(5)和分析設(shè)備(6)，

所述光譜儀(5)通過光纖(4)與所述聯(lián)動裝置中的光譜采集部件(31)連接，用于接收所述光譜采集部件(31)采集的光譜信息；

所述分析設(shè)備(6)與所述光譜儀(5)電連接，用于對所述光譜儀(5)傳輸?shù)墓庾V信息進行分析。

8.一種光譜分析方法，其特征在于，包括：

控制如權(quán)利要求1-6任一項所述的聯(lián)動裝置沿激光光軸移動，以調(diào)節(jié)聚焦透鏡的焦平面與樣品表面之間的距離；

在不同距離下，分別獲取與所述距離對應(yīng)的樣品的特征譜線強度的相對標準偏差；

基于所述相對標準偏差確定聚焦透鏡的焦平面與樣品表面之間的最佳測試距離。

9.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，獲取與所述距離對應(yīng)的樣品的特征譜線強度的相對標準偏差，包括：

獲取在同一距離下樣品的N個特征譜線強度；

計算出N個特征譜線強度的平均值和標準差；

根據(jù)N個特征譜線強度的平均值和標準差計算出相對標準偏差，其中，N為大于等于1的正整數(shù)。

10.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，基于所述相對標準偏差確定聚焦透鏡的焦平面與樣品表面之間的最佳測試距離，包括：

獲取M個相對標準偏差；

比較所述M個相對標準偏差，并將最小的相對標準偏差對應(yīng)的距離作為最佳測試距離。

11.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，方法還包括：

當樣品表面存在損耗時，通過控制所述聯(lián)動裝置沿激光光軸移動對損耗進行補償。