[發明專利]一種基于WGM微腔的濾波器的封裝結構及封裝方法

在審

• 申請號: 202110502214.9
• 申請日: 2021-05-08
• 公開（公告）號: CN113037238A
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 高峰;甘緒凡;許京軍;薄方
• 申請（專利權）人: 南開大學
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H9/05
• 代理公司: 北京思創大成知識產權代理有限公司 11614
• 代理人: 高爽

1.一種基于WGM微腔的濾波器的封裝結構，其特征在于，包括封裝殼體，還包括密封塊、微腔載物臺、殼體上蓋以及設置在封裝殼體內部的中間固定托架，所述微腔載物臺固定在封裝殼體的內側，所述密封塊設置于所述封裝殼體的兩端，所述密封塊用于穿設耦合器件，所述中間固定托架設置于所述微腔載物臺的兩側，所述中間固定托架用于固定所述耦合器件，所述殼體上蓋安裝在封裝殼體上。

2.根據權利要求1所述的一種基于WGM微腔的濾波器的封裝結構，其特征在于，所述密封塊包括第一塊和位于第一塊下方的第二塊，所述第一塊和所述第二塊分別活動安裝在封裝殼體的內側兩端。

3.根據權利要求2所述的一種基于WGM微腔的濾波器的封裝結構，其特征在于，所述第二塊靠近所述第一塊的工作面設置高度與所述中間固定托架對所述耦合器件的固定高度相等。

4.根據權利要求1所述的一種基于WGM微腔的濾波器的封裝結構，其特征在于，所述封裝殼體由U形型材根據所需長度切割成型。

5.根據權利要求1所述的一種基于WGM微腔的濾波器的封裝結構，其特征在于，所述微腔載物臺由壓電陶瓷構成。

6.根據權利要求1所述的一種基于WGM微腔的濾波器的封裝結構，其特征在于，所述微腔載物臺與開設在封裝殼體上的電驅動接口電連接。

7.一種基于WGM微腔的濾波器的封裝方法，利用根據權利要求1-6中任一項所述的基于WGM微腔的濾波器的封裝結構，其特征在于，包括：

S1：提供耦合器件，并將所述耦合器件固定在中間固定托架上；

S2：利用密封塊進一步固定所述耦合器件，并安裝好耦合端口光纖及耦合端口保護套；

S3：在耦合器件的輸入輸出端口分別連接帶有偏振控制器的掃頻激光器和探測裝置；

S4：將WGM微腔置于外部固定支架；

S5：利用帶有手動調節的三維壓電位移臺整體移動封裝殼體，使WGM微腔貼近耦合器件以及微腔載物臺，開啟掃頻激光器，在探測裝置中觀察透過率的變化，根據所述探測裝置的探測結果優化調節偏振控制器和手動調節三維壓電位移臺的位置，證實在三維壓電位移臺加載電壓的情況下，可以獲得所需要的耦合濾波調節效果；

S6：撤去三維壓電位移臺的電壓，然后將WGM微腔利用固化膠粘接于微腔載物臺上；

S7：通過電驅動接口為微腔載物臺加載不同的電壓，使固化的WGM微腔移動位置，證實所需要的帶寬調節范圍，后撤去電壓；

S8：蓋上殼體上蓋，形成所述的基于WGM微腔的濾波器的封裝結構。

8.根據權利要求7所述的一種基于WGM微腔的濾波器的封裝方法，其特征在于，所述探測裝置為安裝有光電探頭的示波器。

9.根據權利要求7所述的一種基于WGM微腔的濾波器的封裝方法，其特征在于，所述探測裝置為光譜分析儀。

10.根據權利要求7所述的一種基于WGM微腔的濾波器的封裝方法，其特征在于，整體步驟均在超凈環境內進行。