[發(fā)明專利]一種存放掩膜基版的包裝盒子

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110501621.8
• 申請日: 2021-05-08
• 公開（公告）號: CN113320830A
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 車翰宣;王延紅
• 申請（專利權(quán)）人: 上海傳芯半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B65D81/05
• 分類號: B65D81/05;B65D85/30;B65D85/86;B65D43/26;H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明是介紹一種存放掩膜基版的包裝盒子。設(shè)計時考慮到掩膜基版在存放途中不能粘染異物、不能受到外力破壞，盒子易于搬運、方便堆疊節(jié)約存放空間等因素，制作的此掩膜基板包裝盒子。本發(fā)明的掩膜基版包裝盒子共分5個部件：具有緩沖設(shè)計的卡夾；存放卡夾的盒體；具有彈性設(shè)計的襯墊；固定襯墊且與盒體形成密閉空間的上蓋；連接上蓋與盒體進行鎖閉和打開且可以拆卸的按鈕。本發(fā)明可以使多個掩膜基版存放在受緩沖保護的密閉空間內(nèi)處于潔凈、安全的環(huán)境中；盒子上蓋可以自動彈起與盒體分離，不會在鎖閉和打開時產(chǎn)生劇烈晃動等沖擊，減少打開盒子時掩膜基版受到污染或破損的可能性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體涉及一種存放掩膜基版的包裝盒。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體硅片上的電路元件圖形都來自于光罩，而光罩最重要的原材料之一就是掩膜基版，掩膜基版是光刻復(fù)制圖形的基準(zhǔn)和藍本，掩膜基版上的任何缺陷都會對最終圖形精度產(chǎn)生嚴(yán)重的影響。因此掩膜基版的質(zhì)量在光刻工藝中的扮演著非常重要的角色。所以掩膜基版在使用和存儲的過程中必須保持盡可能的“潔身自好”。但在實際生產(chǎn)作業(yè)中，顆粒(例如微粒、粉塵或有機物)附著在掩膜基版上會影響圖形效果，導(dǎo)致生產(chǎn)的半導(dǎo)體元件不良率增加。而掩膜基版在生產(chǎn)結(jié)束后，經(jīng)過儲存、搬運直至光罩廠使用前都要存放在專用的包裝盒內(nèi)，且使用前不能對掩膜基版進行任何清洗或加工，這就對掩膜基版包裝盒提出了很高的要求。

目前市場上的掩膜基版包裝盒為上、下盒體硬性連接，打開時需要用力拉開固定位置，才能打開上蓋，操作不當(dāng)容易產(chǎn)生震動甚至劇烈磕碰，沖擊導(dǎo)致顆粒產(chǎn)生或飄起，使掩膜基版在打開的過程中沾染污染物甚至產(chǎn)生破損。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述的技術(shù)問題和相關(guān)問題，本發(fā)明提供了如下的技術(shù)方案：一種存放掩膜基版的包裝盒，包括卡夾、盒體、襯墊、上蓋及按鈕，所述的卡夾和襯墊起到存放和固定掩膜基版并具有緩沖彈起功能設(shè)計；所述盒體和上蓋可以合起形成密閉空間；所述按鈕可以連接所述盒體與上蓋。

優(yōu)選地，所述卡夾上部開放，形成卡夾存放部，卡夾存放部內(nèi)部具有多個豎直方向的用于存放掩膜基版的側(cè)面插入部，相鄰側(cè)面插入部之間形成側(cè)面隔離部，所述側(cè)面插入部具有一定寬度，側(cè)面插入部之間具有一定距離，所述卡夾底部外側(cè)設(shè)置有具有緩沖作用的回彈片，所述回彈片一端固接于所述卡夾底部，另一端以一定傾斜角度向下延伸并可與所述盒體內(nèi)部底面相抵接；向所述卡夾施加向下壓力時，所述回彈片可以產(chǎn)生彈性形變。回彈片作用于所述盒體內(nèi)部底面用于具有緩沖保護、彈起功能設(shè)計。

優(yōu)選地，所述盒體上部開放，形成向下內(nèi)部空間，內(nèi)部用于存放所述的卡夾，上部邊緣外側(cè)設(shè)置有盒體密封結(jié)合部，兩側(cè)設(shè)置有按鈕安裝部，側(cè)面設(shè)置有加強結(jié)構(gòu)設(shè)計的把手部，下部具有凸出的支撐足，支撐足用于多個包裝盒之間的垂直堆疊存放。進一步優(yōu)選的，四個側(cè)面均有加強結(jié)構(gòu)設(shè)計，下部四角具有凸出的支撐足。所述加強結(jié)構(gòu)增加盒體強度，不易變形破損，防滑易于抓握。所述凸出的支撐足具有防滑作用，也可用于堆疊存放。

優(yōu)選地，襯墊由一條定位帶和多個固定部組成。定位帶兩端設(shè)置固定連接孔，定位帶一側(cè)固接固定部，固定部具有一定尺寸，固定部之間具有一定距離，固定部與定位帶成一定角度。所述定位帶上的固定連接孔用于與所述上蓋連接，所述固定部用于固定掩膜基版，所述固定部設(shè)置有回彈設(shè)計，在固定掩膜基版時固定部會向上彈起，起到緩沖保護和提供彈起功能。

優(yōu)選地，上蓋下部開放，形成向上的內(nèi)部空間，下部邊緣內(nèi)測設(shè)置有密封結(jié)合部；下部兩側(cè)內(nèi)部設(shè)置有按鈕勾抓部；內(nèi)部上部設(shè)置固定連接點；頂部具有定位凹槽。所述內(nèi)部空間用于存放所述卡夾，所述上蓋密封結(jié)合部用于與所述盒體的密封結(jié)合部密封貼合形成密閉空間，所述按鈕勾抓部用于進行所述上蓋與所述盒體密封鎖閉與打開，所述固定連接扣用于以固定連接所述襯墊，所述定位凹槽用于與所述盒體下部支撐足進行定位堆疊，上蓋透明但可以遮蔽固定波段光線，防止掩膜基版光敏部分產(chǎn)生光學(xué)反應(yīng)，且具有顯示內(nèi)部情況的作用。進一步優(yōu)選的，上蓋頂部的四角分別設(shè)置有定位凹槽。