[發明專利]一種拋光液輸送裝置和化學機械拋光設備

在審

• 申請號: 202110499303.2
• 申請日: 2021-05-08
• 公開（公告）號: CN113442068A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 趙德文;魏聰;劉遠航;李長坤
• 申請（專利權）人: 華海清科（北京）科技有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;B24B37/015;B24B37/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種拋光液輸送裝置，其特征在于，包括：

基座，所述基座上設有基座孔；

轉軸，所述轉軸設在所述基座孔內，且所述轉軸設置為在所述基座孔內可選擇性地轉動；

懸臂，所述懸臂相對于所述轉軸可轉動地連接在所述轉軸上，其內部中空；

拋光液管，所述拋光液管穿過所述基座孔后伸入所述懸臂內，用于輸送拋光液；

噴嘴組件，與所述拋光液管連通，所述噴嘴組件包括噴嘴座和設于噴嘴座下方的至少一個噴嘴；

光照單元，所述光照單元環繞所述拋光液管設置以對其中的拋光液進行照射加熱并通過控制光照單元照射拋光液的時長來調節拋光液的溫度、和/或、不同噴嘴處分別設有光照單元以實現不同噴淋位置拋光液的不同溫度控制；所述光照單元設置在所述懸臂內部并被所述懸臂全封閉包圍以防止漏光對晶圓造成損傷。

2.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，所述拋光液為水基性溶液，所述光照單元為紅外線加熱管以適用于水基性溶液。

3.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，所述拋光液含有水、拋光液顆粒、緩蝕劑、氧化劑和絡合劑。

4.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，還包括設置在所述拋光液管出口端的溫度傳感器。

5.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，所述拋光液管由透明且耐腐蝕的材料制成。

6.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，所述噴嘴由透明且耐腐蝕的材料制成。

7.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，噴嘴座固定在懸臂的下表面。

8.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，還包括套筒，所述套筒可轉動地設在所述轉軸的外部。

9.如權利要求8所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，所述套筒和所述轉軸之間設有軸承。

10.一種化學機械拋光設備，其特征在于，包括：拋光盤、粘接在拋光盤上的拋光墊、吸附晶圓并帶動晶圓旋轉的承載頭、修整拋光墊的修整器、以及向拋光墊表面提供拋光液的如權利要求1至9任一項所述的拋光液輸送裝置。