[發明專利]可調溫的拋光液輸送裝置和化學機械拋光設備

在審

• 申請號: 202110498958.8
• 申請日: 2021-05-08
• 公開（公告）號: CN113070812A
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 路新春;鄭鵬杰;趙德文;李長坤;劉遠航
• 申請（專利權）人: 清華大學;華海清科股份有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B57/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種可調溫的拋光液輸送裝置，其特征在于，包括：

基座，所述基座上設有基座孔；

轉軸，所述轉軸設在所述基座孔內，且所述轉軸設置為在所述基座孔內可選擇性地轉動；

懸臂，所述懸臂相對于所述轉軸可轉動地連接在所述轉軸上，其內部中空；

拋光液管，所述拋光液管穿過所述基座孔后伸入所述懸臂內，用于輸送拋光液或氣體；

噴嘴組件，與所述拋光液管連通，所述噴嘴組件包括噴嘴座和設于噴嘴座下方的至少一個噴嘴；

調溫單元，用于對拋光液或氣體進行冷卻或升溫，所述調溫單元環繞拋光液管設置、和/或、不同噴嘴處分別設有不同調溫單元以實現向拋光墊表面不同位置噴淋不同溫度物質，從而調控拋光溫度。

2.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，所述調溫單元為流體浴管，該流體浴管內通入預設溫度的流體。

3.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，所述調溫單元為流體循環的螺旋纏繞線圈。

4.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，所述拋光液管的材質為玻璃或硅橡膠。

5.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，所述拋光液管包括液管和氣管，以按照需求在向拋光墊表面提供拋光液的間隙噴淋氣體進行控溫。

6.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，還包括設置在所述拋光液管出口端的溫度傳感器。

7.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，噴嘴座固定在懸臂的下表面。

8.如權利要求1所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，還包括套筒，所述套筒可轉動地設在所述轉軸的外部。

9.如權利要求8所述的拋光液輸送裝置，其特征在于，所述套筒和所述轉軸之間設有軸承。

10.一種化學機械拋光設備，其特征在于，包括：拋光盤、粘接在拋光盤上的拋光墊、吸附晶圓并帶動晶圓旋轉的承載頭、修整拋光墊的修整器、以及向拋光墊表面提供拋光液的如權利要求1至9任一項所述的拋光液輸送裝置。