[發(fā)明專利]一種多階橫模抑制的聲表面波換能器及制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110498780.7
• 申請(qǐng)日: 2021-05-08
• 公開（公告）號(hào): CN113193849A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚遠(yuǎn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇卓勝微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H03H9/64
• 分類號(hào): H03H9/64;H03H3/02
• 代理公司: 重慶雙馬智翔專利代理事務(wù)所(普通合伙) 50241
• 代理人: 顧曉玲;陳香蘭

1.一種多階橫模抑制的聲表面波換能器，其特征在于，包括從下到上依次設(shè)置的晶圓基底、叉指金屬層和溫補(bǔ)層；

還包括負(fù)載層，所述負(fù)載層采用如下結(jié)構(gòu)之一或它們的任意組合；

結(jié)構(gòu)一：所述負(fù)載層設(shè)置于所述溫補(bǔ)層上或溫補(bǔ)層中，所述負(fù)載層不與所述叉指金屬層接觸，所述負(fù)載層覆蓋所述叉指金屬層中的全部或部分指條端頭；

結(jié)構(gòu)二：所述負(fù)載層在所述晶圓基底內(nèi)，所述負(fù)載層位于叉指金屬層的指條端頭位置對(duì)應(yīng)處；

結(jié)構(gòu)三：所述負(fù)載層位于叉指金屬層和溫補(bǔ)層之間，所述負(fù)載層覆蓋所述叉指金屬層中的全部或部分指條端頭。

2.如權(quán)利要求1所述的多階橫模抑制的聲表面波換能器，其特征在于，在所述結(jié)構(gòu)一中，所述負(fù)載層為設(shè)置在所述溫補(bǔ)層上或所述溫補(bǔ)層中的導(dǎo)電層或不導(dǎo)電層；或者所述負(fù)載層為設(shè)置在溫補(bǔ)層中的空洞層。

3.如權(quán)利要求2所述的多階橫模抑制的聲表面波換能器，其特征在于，當(dāng)所述負(fù)載層為導(dǎo)電層或不導(dǎo)電層時(shí)：

所述負(fù)載層包括至少一條沿指條寬度方向延伸的連續(xù)的條狀帶，所述條狀帶覆蓋多個(gè)指條端頭且位于所覆蓋的指條端頭的上方；

或者所述負(fù)載層包括至少一條沿指條寬度方向延伸的間斷的條狀帶，所述條狀帶中每個(gè)分段覆蓋至少一個(gè)指條端頭且位于所覆蓋的指條端頭的上方；

當(dāng)所述負(fù)載層為空洞層時(shí)：

所述負(fù)載層包括至少一條沿指條寬度方向延伸的連續(xù)的條狀槽，所述條狀槽覆蓋多個(gè)指條端頭且位于所覆蓋的指條端頭的上方；

或者所述負(fù)載層包括至少一條沿指條寬度方向延伸的間斷的條狀槽，所述條狀槽中每個(gè)分段覆蓋至少一個(gè)指條端頭且位于所覆蓋的指條端頭的上方。

4.如權(quán)利要求3所述的多階橫模抑制的聲表面波換能器，其特征在于，當(dāng)所述負(fù)載層包括至少一條沿指條寬度方向延伸的間斷的條狀帶時(shí)，所述條狀帶中每個(gè)分段覆蓋一個(gè)指條端頭且位于所覆蓋的指條端頭的正上方。

5.如權(quán)利要求4所述的多階橫模抑制的聲表面波換能器，其特征在于，固定條狀帶中分段的寬度，在預(yù)設(shè)的分段長度取值區(qū)間中取多個(gè)長度取值，對(duì)不同長度取值下的分段進(jìn)行三維有限元分析獲得與長度取值一一對(duì)應(yīng)的導(dǎo)納曲線，將多個(gè)導(dǎo)納曲線中最光滑和/或無尖峰的導(dǎo)納曲線對(duì)應(yīng)的長度取值作為所述分段的長度最優(yōu)值。

6.如權(quán)利要求1所述的多階橫模抑制的聲表面波換能器，其特征在于，所述結(jié)構(gòu)二為：在所述晶圓基底上與所述叉指金屬層的指條端頭位置對(duì)應(yīng)處開設(shè)有孔洞，在所述孔洞中填充有導(dǎo)電材料或非導(dǎo)電材料，當(dāng)所述孔洞中填充有導(dǎo)電材料時(shí)，每個(gè)指條端頭位置對(duì)應(yīng)處的孔洞不與所述指條端頭相鄰的指條端頭接觸；

和/或所述結(jié)構(gòu)三為：所述負(fù)載層包括多條分別沿指條長度方向延伸的非金屬的條狀帶，每個(gè)所述條狀帶覆蓋一個(gè)指條且位于所覆蓋的指條的上方。

7.如權(quán)利要求1－6之一所述的多階橫模抑制的聲表面波換能器，其特征在于，還包括鈍化層，所述鈍化層位于最上方的。