[發(fā)明專利]一種均熱板的蓋板制作方法及均熱板的制作方法

在審

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• 申請日: 2021-05-07
• 公開（公告）號: CN113281967A
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王冬明;孫萬華
• 申請（專利權(quán)）人: 江西展耀微電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F7/30
• 代理公司: 廣州德科知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44381
• 代理人: 李樺;萬振雄

本發(fā)明公開了一種均熱板的蓋板制作方法及均熱板的制作方法，該方法包括以下步驟：在所述蓋板的第一表面上覆蓋光阻膜；對所述光阻膜進(jìn)行曝光和顯影，使光阻膜上形成第一鏤空圖案和第二鏤空圖案，第一鏤空圖案將氣槽區(qū)對應(yīng)的光阻膜分割為多個第一光阻塊，第二鏤空圖案將液槽區(qū)對應(yīng)的光阻膜分割為多個第二光阻塊，且第一光阻塊的覆蓋面積小于第二光阻塊的覆蓋面積；對蓋板進(jìn)行蝕刻，使第一表面形成第一凸起和第二凸起，進(jìn)一步蝕刻，使第一凸起通過側(cè)蝕作用去除，以使氣槽區(qū)整體凹陷形成氣槽，并使第二凸起保留，以使氣槽與液槽的蝕刻速度接近，使液槽的深度增加，提高了液態(tài)工質(zhì)通道的回流速度，增強(qiáng)了均熱板的散熱功率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及散熱技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種均熱板的蓋板制作方法及均熱板的制作方法。

背景技術(shù)

隨著均熱板的超薄化(0.25mm～0.35mm)需求越來越高，為了滿足較大的散熱功率(如大于5w的散熱功率)，則對氣態(tài)工質(zhì)的擴(kuò)散速度和液態(tài)工質(zhì)的回流速度有了更高的要求。

均熱板通常由兩塊蓋板對合形成，均熱板中的氣道與毛細(xì)液道可以通過在蓋板上蝕刻溝槽來制作。但是，由于氣道的寬度遠(yuǎn)大于單條毛細(xì)液道的寬度，因此氣道的蝕刻速率快于毛細(xì)液道的蝕刻速率，當(dāng)氣道的深度達(dá)到需求時，毛細(xì)液道的深度大約只有氣道深度的1/3，從而導(dǎo)致毛細(xì)液道的毛細(xì)性能大打折扣，使得均熱板無法達(dá)到較大的散熱功率。

發(fā)明內(nèi)容

本申請實(shí)施例公開了一種均熱板的蓋板制作方法及均熱板的制作方法，能夠提高液態(tài)工質(zhì)的回流速度，從而提高均熱板的散熱功率。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，第一方面，本申請實(shí)施例公開了一種均熱板的蓋板制作方法，所述蓋板的第一表面包括用于形成氣槽的氣槽區(qū)以及用于形成液槽的液槽區(qū)，所述方法包括以下步驟：

在所述蓋板的第一表面上覆蓋光阻膜；

對所述光阻膜進(jìn)行曝光和顯影，使所述光阻膜上對應(yīng)所述氣槽區(qū)的位置形成第一鏤空圖案，并在光阻膜上對應(yīng)所述液槽區(qū)的位置形成第二鏤空圖案，所述第一鏤空圖案將所述氣槽區(qū)對應(yīng)的光阻膜分割為多個第一光阻塊，所述第二鏤空圖案將所述液槽區(qū)對應(yīng)的光阻膜分割為多個第二光阻塊，且所述第一光阻塊的覆蓋面積小于所述第二光阻塊的覆蓋面積；

對所述蓋板進(jìn)行蝕刻，使所述第一表面對應(yīng)所述第一鏤空圖案和第二鏤空圖案的區(qū)域腐蝕形成溝槽，使所述第一表面對應(yīng)所述第一光阻塊的區(qū)域形成第一凸起，使所述第一表面對應(yīng)所述第二光阻塊的區(qū)域形成第二凸起，進(jìn)一步蝕刻，使所述第一凸起通過側(cè)蝕作用去除，以使所述氣槽區(qū)整體凹陷形成氣槽，并使所述第二凸起保留，以使相鄰兩所述第二凸起之間形成液槽。

本申請實(shí)施例提供的均熱板的蓋板制作方法，通過曝光和顯影在光阻膜上形成第一鏤空圖案和第二鏤空圖案，第一鏤空圖案將光阻膜上對應(yīng)氣槽區(qū)的部分分割為多個第一光阻塊，第二鏤空圖案將光阻膜上對應(yīng)液槽區(qū)的部分分割為多個第二光阻塊，且第一光阻塊的覆蓋面積小于所述第二光阻塊的覆蓋面積，由此，當(dāng)進(jìn)行蝕刻步驟時，在蓋板上對應(yīng)第一光阻塊形成的第一凸起的體積會小于對應(yīng)第二光阻塊形成的第二凸起的體積，第一凸起的存在可使得在蝕刻過程中進(jìn)入氣槽區(qū)的蝕刻液量減少，進(jìn)而可使氣槽的蝕刻速度減慢，使氣槽與液槽的蝕刻速度接近，進(jìn)一步蝕刻后，第一凸起可通過側(cè)蝕作用去除，因此不會影響氣槽的通氣量，并且可使液槽的深度增加并與氣槽的深度接近，液槽的深度增加能夠增大液槽的毛細(xì)力，從而能夠提高液態(tài)工質(zhì)的回流速度，實(shí)現(xiàn)了均熱板在超薄化的同時具有較大的散熱功率。

在第一方面可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述氣槽區(qū)和所述液槽區(qū)沿第一方向排列，所述第一光阻塊沿所述第一方向的寬度為d₁，所述第二光阻塊沿所述第一方向的寬度為d₂，d₁＜d₂。

第一光阻塊的寬度和第二光阻塊的寬度滿足以上關(guān)系，可以使得當(dāng)?shù)谝煌蛊鹜ㄟ^側(cè)蝕方式去除后，第二凸起能夠被保留。