[發(fā)明專利]一種變剪切比徑向剪切干涉系統(tǒng)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110491763.0 | 申請(qǐng)日： | 2021-05-06 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN113340440A | 公開（公告）日： | 2021-09-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 蔡智騫;張軍勇;楊朋千;朱健強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01J11/00 | 分類號(hào)： | G01J11/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 張寧展 |
| 地址： | 201800 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 剪切 徑向 干涉 系統(tǒng) | ||
1.一種變剪切比的徑向剪切干涉系統(tǒng)，其特征在于，包括同光軸的剪切干涉單元(Ⅰ)、剪切比調(diào)控單元(Ⅱ)和波前探測(cè)單元(Ⅲ)；
所述剪切干涉單元(Ⅰ)，用于將入射光匯聚在多個(gè)共焦的焦點(diǎn)上，以方便后續(xù)剪切比調(diào)控單元進(jìn)行剪切比選擇；
所述剪切比調(diào)控單元(Ⅱ)，用于提取所需剪切比的徑向剪切干涉信息；
所述波前探測(cè)單元(Ⅲ)，用于采集徑向剪切干涉圖，并處理獲取剪切波前相位差，得到待測(cè)波前信息。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變剪切比的徑向剪切干涉系統(tǒng)，其特征在于：所述剪切干涉單元(Ⅰ)由同光軸的多個(gè)光子篩構(gòu)成，通過(guò)控制各光子篩的間距和焦距，使每個(gè)光子篩的焦點(diǎn)在所述的剪切比調(diào)控單元(Ⅱ)上共焦。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的變剪切比的徑向剪切干涉系統(tǒng)，其特征在于：所述的光子篩為2個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變剪切比的徑向剪切干涉系統(tǒng)，其特征在于：所述剪切比調(diào)控單元(Ⅱ)為軸向位置可調(diào)的濾波孔，通過(guò)沿光軸前后調(diào)節(jié)該濾波孔的位置，提取所需剪切比的徑向剪切干涉信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變剪切比的徑向剪切干涉系統(tǒng)，其特征在于：所述波前探測(cè)單元(Ⅲ)由波前探測(cè)處理單元和與該波前探測(cè)處理單元相連的計(jì)算機(jī)(5)構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求6所述的變剪切比的徑向剪切干涉系統(tǒng)，其特征在于：所述波前探測(cè)處理單元為CCD成像系統(tǒng)(4)。
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