[發明專利]閥體結構及具有其的晶圓清洗系統

有效

• 申請號: 202110490830.7
• 申請日: 2021-05-06
• 公開（公告）號: CN113217672B
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發明（設計）人: 婁漢;莊武斌;張銳;沈玉柱
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: F16K11/22
• 分類號: F16K11/22;F16K1/38;F16K1/42;F16K27/02;F16K31/122;H01L21/67;B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 譚玲玲

1.一種閥體結構，其特征在于，包括：

閥座(10)，具有進液口(11)、出液口(12)及過液口(13)，所述過液口(13)與噴液結構(90)的噴液嘴連通；

第一閥體組件，包括第一閥針(20)，所述第一閥針(20)可活動地設置在所述閥座(10)內，以使所述進液口(11)和所述過液口(13)連通或斷開連通；

第二閥體組件，包括第二閥針(30)，所述第二閥針(30)可活動地設置在所述閥座(10)內，以使所述出液口(12)和所述過液口(13)連通或斷開連通；

其中，當所述第一閥針(20)運動至連通所述進液口(11)與所述過液口(13)的第一位置時，進入至所述進液口(11)內的液體從所述過液口(13)排出；

當所述第二閥針(30)運動至所述出液口(12)與所述過液口(13)連通、所述第一閥針(20)運動至所述進液口(11)與所述過液口(13)斷開連通時，緩存在所述噴液嘴內的液體被回吸至所述出液口(12)內；所述閥座(10)還具有第一閥腔(14)及與所述第一閥腔(14)連通的第一閥口(15)，所述進液口(11)通過所述第一閥口(15)與所述過液口(13)連通，所述第一閥針(20)在所述第一閥腔(14)內可活動地設置，以打開或關閉所述第一閥口(15)；所述閥座(10)還具有第二閥腔(16)及與所述第二閥腔(16)連通的第二閥口(17)，所述過液口(13)通過所述第二閥口(17)與所述出液口(12)連通，所述第二閥針(30)在所述第二閥腔(16)內可活動地設置，以打開或關閉所述第二閥口(17)。

2.根據權利要求1所述的閥體結構，其特征在于，所述閥座(10)還具有：

第一通道(181)，所述第一通道(181)的兩端分別與所述進液口(11)和所述第一閥口(15)連通；

第二通道(182)，所述第二通道(182)的兩端分別與所述第一閥腔(14)和所述過液口(13)連通。

3.根據權利要求2所述的閥體結構，其特征在于，所述閥座(10)還具有：

第三通道(191)，所述第三通道(191)的兩端分別與所述第一閥腔(14)和所述第二閥口(17)連通；

第四通道(192)，所述第四通道(192)的兩端分別與所述第二閥腔(16)和所述出液口(12)連通。

4.根據權利要求3所述的閥體結構，其特征在于，所述第二通道(182)和所述第三通道(191)分別位于所述第一閥腔(14)的兩側，在所述第一閥針(20)關閉所述第一閥口(15)時，所述第二通道(182)通過所述第一閥腔(14)與所述第三通道(191)連通。

5.根據權利要求2所述的閥體結構，其特征在于，所述第一閥體組件還包括第一套筒(40)和第一驅動部(50)，所述第一套筒(40)具有第一進氣口(41)；所述第一驅動部(50)包括：

第一活塞(51)，所述第一活塞(51)可升降地設置在所述第一套筒(40)內，所述第一進氣口(41)位于所述第一活塞(51)的下方；其中，氣體通過所述第一進氣口(41)進入至所述第一套筒(40)內，以推動所述第一活塞(51)帶動所述第一閥針(20)朝向遠離所述第一閥口(15)的一側運動，進而連通所述第一通道(181)和所述第二通道(182)；

第一彈性件(52)，所述第一彈性件(52)位于所述第一套筒(40)內，以用于向所述第一活塞(51)施加朝向所述第一閥口(15)運動的彈性力。

6.根據權利要求5所述的閥體結構，其特征在于，所述閥體結構還包括：

第一封堵件，可活動地設置在所述第一進氣口(41)處；

第三驅動部，所述第三驅動部與所述第一封堵件連接，以驅動所述第一封堵件封堵或避讓所述第一進氣口(41)。