[發明專利]壓力傳感器密封性測試裝置

在審

• 申請號: 202110488701.4
• 申請日: 2021-04-30
• 公開（公告）號: CN113188730A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 王小平;曹萬;唐文;齊擎;陳列
• 申請（專利權）人: 武漢飛恩微電子有限公司
• 主分類號: G01M3/26
• 分類號: G01M3/26;G01L27/00
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 梁爽

1.一種壓力傳感器密封性測試裝置，所述壓力傳感器包括外殼以及設于外殼側面且連通于所述外殼的內腔的氣嘴，其特征在于，所述壓力傳感器密封性測試裝置包括：

臺架；

檢漏儀，設于所述臺架；以及，

檢測結構組，設于所述臺架的上端面，所述檢測結構組包括沿左右向間隔設置的安裝座和接頭座，所述安裝座具有朝向所述接頭座的檢測側面，所述安裝座的上端面形成有容置槽，所述容置槽用以放置所述壓力傳感器的外殼且使所述氣嘴突出于所述檢測側面，所述接頭座形成有氣體通道，所述氣體通道的一端口形成在所述接頭座朝向所述檢測側面的側面，另一端口連接至所述檢漏儀的測試接口；

其中，所述接頭座具有沿左右向靠近或遠離所述安裝座的活動行程，可靠近所述安裝座以使所述氣體通道的端口套設于所述氣嘴，以連通所述氣嘴和所述測試接口。

2.如權利要求1所述的壓力傳感器密封性測試裝置，其特征在于，所述檢測結構組設置有多個，多個所述檢測結構組至少包括第一檢測結構組和第二檢測結構組，所述第一檢測結構組和所述第二檢測結構組切換用于檢測和裝載所述壓力傳感器。

3.如權利要求2所述的壓力傳感器密封性測試裝置，其特征在于，每一所述檢測結構組中，所述安裝座沿前后向間隔設置有多個，所述接頭座對應設置有多個，且多個所述接頭座均可沿左右向移動。

4.如權利要求1所述的壓力傳感器密封性測試裝置，其特征在于，還包括壓塊，所述壓塊可沿上下向移動地設于所述臺架，且對應處于所述容置槽的上方，用以向下壓接于待測試的所述壓力傳感器的外殼的上端面。

5.如權利要求4所述的壓力傳感器密封性測試裝置，其特征在于，所述檢測結構組設置有多個；

所述壓塊可在多個所述檢測結構組的容置槽的上方切換活動。

6.如權利要求5所述的壓力傳感器密封性測試裝置，其特征在于，所述檢測結構組設置有兩個，兩個所述檢測結構組沿左右向布設；

所述壓力傳感器密封性測試裝置還包括壓塊驅動組件，所述壓塊驅動組件包括：

第一氣缸，所述第一氣缸的導向桿可沿上下向伸縮設置，所述第一氣缸的第一缸體和第一導向桿其中之一設于所述壓塊；

連接架，所述第一氣缸的第一缸體和第一導向桿其中之另一設于所述連接架；

第一直線導軌結構，包括沿左右向延伸的第一導軌以及可滑動設于所述第一導軌的第一滑臺，所述第一導軌和所述第一滑臺其中之一設于所述臺架的上端面，另一設于所述連接架；以及，

第二氣缸，所述第二氣缸的導向桿可沿左右向伸縮設置，所述第二氣缸的第二缸體和第二導向桿其中之一設于所述臺架的上端面，另一設于所述連接架。

7.如權利要求6所述的壓力傳感器密封性測試裝置，其特征在于，所述臺架的上端面對應所述連接架的左右兩側分別設有第一接近開關，以限制所述連接架沿左右向的活動行程。

8.如權利要求1所述的壓力傳感器密封性測試裝置，其特征在于，還包括接頭座驅動組件，所述接頭座驅動組件包括：

第三直線導軌結構，包括沿左右向延伸的第三導軌以及可滑動設于所述第三導軌的第三滑臺，所述第三導軌和所述第三滑臺其中之一設于所述臺架的上端面，另一連接于所述接頭座；以及，

第三氣缸，所述第三氣缸的導向桿可沿左右向移動設置，所述第三氣缸的第三缸體和第三導向桿其中之一設于所述接頭座，另一設于所述臺架的上端面。

9.如權利要求1所述的壓力傳感器密封性測試裝置，其特征在于，所述臺架包括臺架本體以及可拆卸地設于所述臺架本體上端面的基板；

所述檢漏儀設于所述臺架本體；

所述檢測結構組設于所述基板。

10.如權利要求9所述的壓力傳感器密封性測試裝置，其特征在于，所述臺架本體的上端面還設有第二接近開關，所述第二接近開關對應所述基板設置。