[發(fā)明專利]一種光罩高效率清洗工藝在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110488522.0 | 申請(qǐng)日： | 2021-05-06 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN113102363A | 公開（公告）日： | 2021-07-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鄭永慶;張衡;陳宏淵 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 艾斯?fàn)柟怆姡贤ǎ┯邢薰?/a> |
| 主分類號(hào)： | B08B3/08 | 分類號(hào)： | B08B3/08;B08B3/10;B08B1/00;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京權(quán)智天下知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新愛 |
| 地址： | 226000 江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 高效率 清洗 工藝 | ||
1.一種光罩高效率清洗工藝,其特征在于：包括以下步驟：
A、首先將光罩放入堿洗液中浸泡一段時(shí)間；
B、之后將光罩從堿洗液中取出，立即放入去離子水中采用流動(dòng)水沖洗一段時(shí)間；
C、之后將光罩取出，放入光罩放置盤內(nèi)，采用海綿刷刷洗光罩的正面和背面；
D、將刷洗后的光罩采用堿洗液噴淋；
E、將噴淋后的光罩立即放入去離子水中反復(fù)沖洗一段時(shí)間；
F、最后將光罩放入干燥箱中低溫干燥。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光罩高效率清洗工藝,其特征在于：所述堿洗液組分按重量份數(shù)包括水30-50份、氫氧化鈉5-12份、磷酸鉀4-10份、三聚磷酸鈉3-9份、十三烷基異構(gòu)醇聚氧乙烯醚8-20份、椰油酸二乙醇酰胺6-12份。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光罩高效率清洗工藝,其特征在于：所述步驟A中浸泡時(shí)間為10min-20min。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光罩高效率清洗工藝,其特征在于：所述步驟B中沖洗時(shí)間為8min-16min。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光罩高效率清洗工藝,其特征在于：所述步驟D中采用流動(dòng)水反復(fù)沖洗，沖洗次數(shù)3-5次，每次沖洗時(shí)間為30min-40min，相鄰兩次間隔時(shí)間為1min-2min。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光罩高效率清洗工藝,其特征在于：所述步驟F中低溫干燥溫度為50-60℃，干燥時(shí)間為30min-50min。
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