[發明專利]一種基于視覺檢測檢測技術的光罩表面質量檢測方法

在審

• 申請號: 202110488511.2
• 申請日: 2021-05-06
• 公開（公告）號: CN113155836A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 鄭永慶;張衡;陳宏淵
• 申請（專利權）人: 艾斯爾光電（南通）有限公司
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G06K9/00;G06T5/00
• 代理公司: 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11638
• 代理人: 王新愛

本發明公開了一種基于視覺檢測檢測技術的光罩表面質量檢測方法，檢測裝置包括光罩載臺、LED背光源、安裝板和圖像采集機構，光罩載臺上安裝待檢測光罩，LED背光源安裝于待檢測光罩正下方，安裝板安裝于光罩載臺上方，圖像采集機構安裝于安裝板，本發明結構簡單，操作方便，能夠有效的采集光罩表面圖像，檢測效率高。

技術領域

本發明涉及光罩檢測技術領域，具體為一種基于視覺檢測檢測技術的光罩表面質量檢測方法。

背景技術

光罩(英文:Reticle, Mask):在制作IC的過程中，利用光蝕刻技術，在半導體上形成圖型，為將圖型復制於晶圓上，必須透過光罩作用的原理，類似于沖洗照片時，利用底片將影像復制至相片上。

光罩在使用完成后需要對表面質量進行檢測，現有的檢測裝置智能化程度低，檢測效率低，因此，有必要進行改進。

發明內容

本發明的目的在于提供一種基于視覺檢測檢測技術的光罩表面質量檢測方法，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種基于視覺檢測檢測技術的光罩表面質量檢測裝置,所述檢測裝置包括光罩載臺、LED背光源、安裝板和圖像采集機構，所述光罩載臺上安裝待檢測光罩，所述LED背光源安裝于待檢測光罩正下方，所述安裝板安裝于光罩載臺上方，所述圖像采集機構安裝于安裝板。

優選的，所述圖像采集機構包括高清廣角攝像頭和控制盒，所述高清廣角攝像頭安裝于安裝板下方，所述控制盒安裝于安裝板上端面。

優選的，所述控制盒內設有控制器，所述控制器內設置中央處理器、圖像采集單元、圖像優化單元、數據庫單元、報警單元和信號傳輸單元，所述圖像采集單元輸入端連接高清廣角攝像頭，所述圖像采集單元輸出端通過圖像優化單元連接中央處理器，所述中央處理器分別連接數據庫單元和報警單元，所述中央處理器通過信號傳輸單元連接后臺監測終端。

優選的，檢測方法包括以下步驟：

A、首先打開LED背光源，高清廣角攝像頭采集光罩表面圖像；

B、圖像采集單元將采集的圖像傳輸至圖像優化單元進行優化；

C、優化后的圖像信號通過中央處理器處理后傳輸至數據庫單元與預設的正常圖像進行比較；

D、若檢測到異常圖像，則立即發出報警信號；

E、同時中央處理器將異常圖像實時傳輸至后臺監測終端供技術人員參考。

優選的，所述步驟B中圖像優化單元優化方法如下：

a、獲取光罩圖像灰度直方圖；

b、設定灰度拉伸中間值，將灰度值小于所述灰度拉伸中間值的全部像素的灰度值降低第一設定值，同時將灰度值大于所述灰度拉伸中間值的全部像素的灰度值增加第一設定值；

c、判斷處理后的圖像灰度直方圖中設定目標灰度區間內是否有像素出現；

d、當設定目標灰度區間內沒有像素出現時，判斷步驟b的處理次數是否達到第二設定值的次數，若已經達到第二設定值的次數時停止對圖像灰度進行處理；

e、當設定目標灰度區間內沒有像素出現，并且步驟b的處理次數尚未達到第二設定值時，返回步驟b對圖像灰度進行進一步處理；

f、當設定目標灰度區間內有像素出現時，停止對圖像灰度進行處理。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：本發明結構簡單，操作方便，能夠有效的采集光罩表面圖像，檢測效率高；其中，采用的圖像優化單元優化方法通過設定灰度拉伸中間值作為灰度拉伸處理的閥值，將灰度值小于所述灰度拉伸中間值的全部像素的灰度值降低第一設定值，同時將灰度值大于灰度拉伸中間值的全部像素的灰度值增加第一設定值，直至設定目標灰度區間出現像素或者達到處理次數設定值后停止處理，從而增強異常圖像識別效果，同時降低污染部分的噪聲，達到提高圖像識別正確率的效果。

附圖說明