[發明專利]一種光罩強光檢測工藝

在審

• 申請號: 202110488497.6
• 申請日: 2021-05-06
• 公開（公告）號: CN113176267A
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 鄭永慶;張衡;陳宏淵
• 申請（專利權）人: 艾斯爾光電（南通）有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11638
• 代理人: 王新愛

1.一種光罩強光檢測工藝,其特征在于：包括以下步驟：

A、首先將待檢測光罩放置于檢測平臺上，其中，檢測平臺采用環形結構，光罩曝光區處于檢測平臺中心；

B、在檢測平臺下方安裝聚合光系統；

C、之后在聚合光系統下方安裝多個LED光源；

D、檢測時，點亮多個LED光源，多個LED光源射出的光線經過聚合光系統聚合后形成一股強光，強光照射至光罩表面，檢測人員能夠看出光罩表面的缺陷。

2.根據權利要求1所述的一種光罩強光檢測工藝，其特征在于：所述步驟B中聚合光系統包括合光器（1）和聚光鏡組（2），所述合光器（1）上設有與LED光源（3）對應的導光柱（4），所述導光柱（4）為圓形或多邊形的錐狀柱體；所述導光柱（4）的出光口形成合光器的出光面。

3.根據權利要求2所述的一種光罩強光檢測工藝，其特征在于：所述聚光鏡組（2）包括第一平凸透鏡（5）和第二平凸透鏡（6），所述第一平凸透鏡（5）與第二平凸透鏡（6）對稱設置，且所述第一平凸透鏡（5）與第二平凸透鏡（6）的凸面相對，所述第一平凸透鏡（5）的平面為入射面且貼近合光器的出光面，所述第二平凸透鏡（6）的平面為出光面。

4.根據權利要求1所述的一種光罩強光檢測工藝，其特征在于：所述步驟C中LED光源3設置3-5個。

5.根據權利要求1所述的一種光罩強光檢測工藝，其特征在于：還包括光源控制器，所述光源控制器與多個LED光源電性連接，所述光源控制器用于控制LED光源的光照時間、亮度。