[發(fā)明專利]一種用于PVT法制備晶體的反應器組件及其使用方法和應用

有效

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• 申請日: 2021-04-30
• 公開（公告）號: CN113215654B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設計）人: 劉鵬飛;劉星;劉家朋;李加林
• 申請（專利權）人: 山東天岳先進科技股份有限公司
• 主分類號: C30B23/00
• 分類號: C30B23/00;C30B29/36
• 代理公司: 北京君慧知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11716
• 代理人: 馮妙娜

1.一種用于PVT法制備晶體的反應器組件，其特征在于，包括：

反應腔，所述反應腔包括原料腔和廢料腔，所述廢料腔的底端低于所述原料腔的底端；

加熱機構，所述加熱機構套設在所述原料腔外側，用于加熱所述原料腔；

長晶腔，所述長晶腔與所述原料腔通過氣相傳輸通道連通，所述原料腔內的原料升華產(chǎn)生的原料氣通過氣相傳輸通道傳輸至所述長晶腔內的籽晶處長晶；

平推流機構，所述平推流機構將所述原料腔內長晶過程中產(chǎn)生的廢料移動至所述廢料腔。

2.根據(jù)權利要求1所述的反應器組件，其特征在于，所述平推流機構包括推料件和與所述推料件連接的連桿，所述推料件設置在所述氣相傳輸通道內，通過所述連桿控制所述推料件將目標區(qū)域和厚度的原料表層廢料移動至所述廢料腔內。

3.根據(jù)權利要求2所述的反應器組件，其特征在于，所述推料件設置在所述反應腔的頂部，

所述推料件距離所述原料腔底端的距離與所述推料件距離所述廢料腔底端的距離的比值為3-5：7-10；和/或

所述推料件距離所述反應腔頂部的距離與所述推料件距離所述籽晶的距離為3-10：90-200。

4.根據(jù)權利要求2所述的反應器組件，其特征在于，所述推料件為擋板；

所述連桿能夠旋轉，以帶動所述擋板旋轉，將所述原料表層廢料至推動所述廢料腔內。

5.根據(jù)權利要求4所述的反應器組件，其特征在于，所述連桿順時針或逆時針旋轉，且所述連桿的旋轉方向不變。

6.根據(jù)權利要求4所述的反應器組件，其特征在于，所述擋板至少為兩個，至少兩個所述擋板沿所述連桿的周向均勻分布，相鄰兩個所述擋板之間的角度為40-120°。

7.根據(jù)權利要求6所述的反應器組件，其特征在于，相鄰兩個所述擋板之間的角度為60-90°。

8.根據(jù)權利要求6所述的反應器組件，其特征在于，所述擋板的寬度為50-100mm，所述擋板的高度為2-10mm。

9.根據(jù)權利要求8所述的反應器組件，其特征在于，所述擋板的寬度為70-80mm，所述擋板的高度為3-5mm。

10.根據(jù)權利要求1所述的反應器組件，其特征在于，還包括送料機構，所述送料機構包括設置在所述原料腔內并承載所述原料的承料臺，所述送料機構能夠控制所述承料臺帶動所述原料向靠近所述氣相傳輸通道方向移動。

11.根據(jù)權利要求10所述的反應器組件，其特征在于，所述送料機構還包括推桿，所述推桿穿過所述原料腔底部與所述承料臺相連，所述推桿用于推動所述承料臺向靠近所述氣相傳輸通道方向移動。

12.根據(jù)權利要求1-11任一項所述的反應器組件，其特征在于，所述原料腔的頂部開口與所述廢料腔的頂部開口連通，所述平推流機構將所述廢料經(jīng)過所述原料腔的頂部開口和所述廢料腔的頂部開口推至所述廢料腔。

13.根據(jù)權利要求12所述的反應器組件，其特征在于，所述原料腔套設在所述廢料腔的外圍。

14.根據(jù)權利要求12所述的反應器組件，其特征在于，所述反應腔由反應腔內筒和反應腔外筒形成，所述反應腔外筒套設于所述反應腔內筒外側；

所述反應腔外筒與所述反應腔內筒之間形成所述原料腔，所述反應腔內筒形成所述廢料腔。

15.根據(jù)權利要求14所述的反應器組件，其特征在于，所述反應腔內筒與所述反應腔外筒共中心軸線設置，所述反應腔外筒高于所述反應腔內筒；

所述長晶腔與所述反應腔外筒的頂部連接。