[發明專利]微機械的傳感器組件、使用微機械的傳感器組件的方法

在審

• 申請號: 202110478505.9
• 申請日: 2021-04-30
• 公開（公告）號: CN113607974A
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發明（設計）人: J·克拉森
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01P15/18
• 分類號: G01P15/18;G01P15/125;B81B7/02
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.一種微機械的傳感器組件(1)、尤其是加速度傳感器，其具有帶有主延伸平面(100)的基底(2)，其中，所述傳感器組件(1)包括第一質量(10)和第二質量(20)，其中，所述第一質量和第二質量(10,20)分別至少部分可運動地沿相對于所述基底(2)的主延伸平面(100)垂直的垂直方向(110)構造，其中，所述第一質量(10)具有止擋結構(11)，其特征在于，所述止擋結構(11)沿所述垂直方向(110)具有與所述第二質量(20)的重疊。

2.根據權利要求1所述的微機械的傳感器組件(1)，其特征在于，所述止擋結構(11)與所述第二質量(20)沿所述垂直方向(110)的重疊通過以下方式形成：所述止擋結構(11)沿所述垂直方向(110)至少部分地布置在所述第二質量(20)和所述基底(2)之間。

3.根據前述權利要求中任一項所述的微機械的傳感器組件(1)，其特征在于，所述第二質量(20)具有另一止擋結構(21)，其中，所述另一止擋結構(21)沿所述垂直方向(110)具有與所述第一質量(10)的另一重疊。

4.根據權利要求3所述的微機械的傳感器組件(1)，其特征在于，所述另一止擋結構(21)與所述第一質量(10)沿所述垂直方向(110)的另一重疊通過以下方式形成：所述另一止擋結構(21)沿所述垂直方向(110)至少部分地布置在所述第一質量(10)和所述基底(2)之間。

5.根據前述權利要求中任一項所述的微機械的傳感器組件(1)，其特征在于，所述傳感器組件(1)構造為，使得在所述傳感器組件(1)的過載情況下，在所述止擋結構(11)和所述第二質量(20)之間形成接觸，其中，所述傳感器組件(1)優選構造為，使得在所述傳感器組件(1)的過載情況下，在所述另一止擋結構(21)和所述第一質量(10)之間形成接觸。

6.根據前述權利要求中任一項所述的微機械的傳感器組件(1)，其特征在于，所述止擋結構(11)彈簧彈性地構造，其中，所述另一止擋結構(21)優選彈簧彈性地構造。

7.根據前述權利要求中任一項所述的微機械的傳感器組件(1)，其特征在于，所述第二質量(20)具有接觸元件、尤其是突出部，其中，所述接觸元件布置為，使得在所述傳感器組件(1)的過載情況下和/或在過載情況之后，通過所述接觸元件和所述止擋結構(11)產生所述第一質量(10)與所述第二質量(20)之間的接觸，其中優選地，所述第一質量(10)具有另一接觸元件(70)、尤其是另一突出部，其中，所述另一接觸元件(70)布置成，使得在所述傳感器組件(1)的過載情況下和/或在過載情況之后，通過所述另一接觸元件(70)和所述另一止擋結構(21)產生所述第一質量(10)與所述第二質量(20)之間的接觸。

8.一種使用根據前述權利要求中任一項所述的微機械的傳感器組件(1)用于對測量參量進行測量的方法、尤其是使用加速度傳感器用于測量加速度的方法。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，在所述傳感器組件(1)的過載情況下，在所述止擋結構(11)和所述第二質量(20)之間形成接觸，其中優選地，在所述傳感器組件(1)的過載情況下，在所述另一止擋結構(21)和所述第一質量(10)之間形成接觸。

10.根據權利要求8或9所述的方法，其特征在于，在所述傳感器組件(1)的過載情況下，在所述第二質量(20)和/或所述第一質量(10)與所述傳感器組件(1)的另一結構接觸之前，在所述止擋結構(11)和所述第二質量(20)之間形成接觸，其中優選地，在所述傳感器組件(1)的過載情況下，在所述第一質量(10)和/或所述第二質量(20)與所述傳感器組件(1)的另一結構接觸之前，在所述另一止擋結構(21)和所述第一質量(10)之間形成接觸。