[發明專利]一種全自動激光蝕刻機

在審

• 申請號: 202110478325.0
• 申請日: 2021-04-30
• 公開（公告）號: CN113172346A
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 葉琳
• 申請（專利權）人: 葉琳
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種全自動激光蝕刻機，涉及激光蝕刻技術領域，包括蝕刻機本體，包括蝕刻機本體，所述蝕刻機本體的底部固定連接有處理箱，所述蝕刻機本體與處理箱之間設有用于抽廢氣的第一氣泵，所述處理箱的底部固定連接有兩根立柱，一根所述立柱內部轉動連接有第一絲桿，所述第一絲桿上通過螺紋連接有滑塊，所述滑塊的一端延伸至立柱的外側并固定連接有支撐板，該全自動激光蝕刻機，通過設置有雙向絲桿、傳動齒輪與移動塊，使得支撐板下移時，齒條使得傳動齒輪轉動，使得移動塊移動，從而使得卡塊與卡槽充卡接狀態下脫離，從而使得在支撐板下移的過程中，限位塊自動解鎖，從而方便操作人員將吸附板取下進行清理。

技術領域

本發明涉及激光蝕刻技術領域，具體為一種全自動激光蝕刻機。

背景技術

激光具有單色性好、方向性強、亮度高等特點。現已發現的激光工作物質有幾千種，波長范圍從軟X射線到遠紅外。 激光技術的核心是激光器，激光器的種類很多，可按工作物質、激勵方式、運轉方式、工作波長等不同方法分類。根據不同的使用要求，采取一些專門的技術提高輸出激光的光束質量和單項技術指標，比較廣泛應用的單元技術有共振腔設計與選模、倍頻、調諧、Q開關、鎖模、穩頻和放大技術等。激光蝕刻技術比傳統的化學蝕刻技術工藝簡單、可大幅度降低生產成本，可加工0.125～1微米寬的線，非常適合于超大規模集成電路的制造。

激光蝕刻機在加工工件的過程中會產生大量的有毒煙氣，不僅會對工件的加工造成不良影響，同時既污染環境又腐蝕機器，故需要采用吸附板對煙氣進行吸附以降低對環境的污染和對機器的腐蝕，但是現有的吸附板解鎖取出較為困難，既浪費時間又較為麻煩；同時隨著設備的運行，設備內壁上會積附過多的灰塵雜質，影響本機的正常運行。

發明內容

針對現有技術的不足，本發明提供了一種全自動激光蝕刻機，解決了上述背景技術中提出的問題。

為實現以上目的，本發明通過以下技術方案予以實現：一種全自動激光蝕刻機，包括蝕刻機本體，所述蝕刻機本體的底部固定連接有處理箱，所述蝕刻機本體與處理箱之間設有用于抽廢氣的第一氣泵，所述處理箱的底部固定連接有兩根立柱，一根所述立柱內部轉動連接有第一絲桿，所述第一絲桿上通過螺紋連接有滑塊，所述滑塊的一端延伸至立柱的外側并固定連接有支撐板，另一根所述立柱內腔內固定連接有齒條，所述支撐板內部開設有傳動槽，所述傳動槽內腔轉動連接有雙向絲桿，所述雙向絲桿的一端套接有傳動齒輪，所述傳動齒輪與齒條嚙合連接，所述雙向絲桿螺紋方向相反處的外側均通過螺紋連接有移動塊，移動塊上設有卡塊，處理箱底部開設有通槽，所述通槽內設有限位塊，限位塊上設有卡槽，所述卡槽與卡塊相配合，限位塊上固定連接有吸附板，吸附板的頂端延伸至處理箱內部，支撐板內設有固定塊，固定塊與限位塊之間連接有彈簧。

可選的，所述處理箱的一側固定連接有保護罩，所述第一絲桿的外側且位于滑塊的上方固定套接有蝸輪，所述立柱內腔的一側轉動連接有蝸桿，所述蝸桿的一端延伸至保護罩內部并固定連接有螺紋桿，所述螺紋桿的外側通過螺紋連接有第一推板，所述第一推板的頂部固定連接有第二推板，所述保護罩內轉動連接有貫穿第一推板的花鍵軸，所述螺紋桿上固定套接有第一連接齒輪，所述花鍵軸上固定套接有與第一連接齒輪嚙合的第二連接齒輪；

所述第一推板的一側設置有連接塊，所述連接塊的內腔且位于花鍵軸的外側設置有限定塊；

所述花鍵軸上設置有第一皮帶輪，所述第一皮帶輪與限定塊固定連接，所述第二推板轉動連接有轉動桿，所述轉動桿為中空結構，所述轉動桿的外側設置有若干吸孔，所述轉動桿的外側固定套接有第二皮帶輪，所述第二皮帶輪與第一皮帶輪通過皮帶傳動連接，所述轉動桿的外側固定連接有若干個清潔刷。