[發明專利]一種靶材組件及其加工方法

有效

• 申請號: 202110475107.1
• 申請日: 2021-04-29
• 公開（公告）號: CN113151798B
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;徐蔓
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種靶材組件的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步驟：

(1)將靶材和背板結合后進行機加工，所述機加工后靶材的側面為斜面，與靶材焊接面的夾角為15～45度，得到初級靶材組件；

(2)將步驟(1)得到的初級靶材組件中靶材的濺射面邊緣和部分靶材側面區域進行滾花處理，所述靶材側面的滾花區域的邊界距靶材濺射面的豎直距離為靶材高度的1/3～1/2，所述滾花處理形成的滾花花紋為直條形花紋，所述直條形花紋包括至少兩段，相鄰兩段花紋呈交叉錯位式結構排列，所述滾花的花紋密度為75～90TPI，花紋深度為60～90μm，所述滾花處理后滾花區域的表面粗糙度為20～35μm；對靶材側面的剩余區域和部分背板區域進行噴砂處理，所述背板表面的噴砂區域的寬度為15～25mm，所述噴砂處理后噴砂區域的表面粗糙度為5～8μm，得到靶材組件。

2.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，步驟(1)所述靶材由錠材經切削以及熱塑性變形得到。

3.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，步驟(1)所述靶材和背板結合的方式為焊接結合。

4.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，步驟(1)所述靶材包括鈦靶材、鋁靶材、鉭靶材或鎢鈦合金靶材中任意一種。

5.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，步驟(1)所述背板包括鋁合金背板或銅合金背板。

6.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，步驟(1)所述機加工包括：對靶材側面加工形成倒角，使得靶材濺射面的尺寸小于靶材焊接面的尺寸。

7.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，步驟(2)所述靶材的濺射面邊緣的滾花區域的寬度為8～15mm。

8.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，步驟(2)所述靶材側面的滾花區域為靠近靶材濺射面的部分區域。

9.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，步驟(2)相鄰兩段花紋中交叉部分的長度占單段花紋長度的20～25％。

10.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，步驟(2)所述噴砂處理的區域包括靶材側面上滾花處理以外的區域和自靶材和背板連接線向外延伸的部分背板表面區域。

11.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步驟：

(1)將靶材和背板焊接結合后進行機加工，所述機加工包括：對靶材側面加工形成倒角，使得靶材濺射面的尺寸小于靶材焊接面的尺寸，所述機加工后靶材的側面為斜面，與靶材焊接面的夾角為15～45度，得到初級靶材組件；

(2)將步驟(1)得到的初級靶材組件中靶材的濺射面邊緣和部分靶材側面區域進行滾花處理，所述靶材的濺射面邊緣的滾花區域的寬度為8～15mm，靶材側面的滾花區域為靠近靶材濺射面的部分區域，靶材側面滾花區域的邊界距靶材濺射面的豎直距離為靶材高度的1/3～1/2，所述滾花處理形成的滾花花紋包括至少兩段、呈交叉錯位式結構排列的直條形花紋，相鄰兩段花紋中交叉部分的長度占單段花紋長度的20～25％，所述滾花的花紋密度為75～90TPI，花紋深度為60～90μm，滾花區域的表面粗糙度為20～35μm；

對靶材側面上滾花處理以外的區域和自靶材和背板連接線向外延伸15～25mm的背板表面區域進行噴砂處理，噴砂區域的表面粗糙度為5～8μm，得到靶材組件。

12.一種根據權利要求1-11任一項所述的加工方法制備得到的靶材組件。