[發明專利]一種基于體振動的翻轉傾斜檢測結構

有效

• 申請號: 202110474727.3
• 申請日: 2021-04-29
• 公開（公告）號: CN113237621B
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發明（設計）人: 楊珊;占瞻;馬昭;闞梟;李楊;黎家健;洪燕;陳秋玉
• 申請（專利權）人: 瑞聲開泰科技(武漢)有限公司;瑞聲聲學科技（深圳）有限公司
• 主分類號: G01M7/02
• 分類號: G01M7/02
• 代理公司: 深圳三用知識產權代理事務所(普通合伙) 44859
• 代理人: 金晶

1.一種基于體振動的翻轉傾斜檢測結構，包括：

基底；

錨點結構，固定于所述基底；

星形振動結構，懸置于所述基底上并與所述錨點結構機械耦合，所述星形振動結構的外輪廓為正6N角星，N為≥2的正整數；

至少兩個面內換能器，用于實現該檢測結構平面內的機械場與電場的耦合；所述至少兩個面內換能器與所述基底連接，并沿該檢測結構的中心圓周分布在最外側，且相鄰兩所述面內換能器之間間隔設置；

至少兩個面外換能器，用于實現該檢測結構平面外的機械場與電場的耦合；所述至少兩個面外換能器與所述基底連接，并沿該檢測結構的中心圓周分布于所述星形振動結構與所述基底之間且與所述星形振動結構間隔設置，相鄰兩所述面外換能器之間間隔設置；

其中，所述檢測結構工作在兩個體振動模態中，兩個所述體振動模態包括工作在結構面內的3θ體振動驅動模態以及工作在結構面外的第2階彎曲體振動檢測模態，兩個所述體振動模態可相互互換。

2.根據權利要求1所述的基于體振動的翻轉傾斜檢測結構，其特征在于：所述星形振動結構套設于所述錨點結構并與所述錨點結構抵接固定。

3.根據權利要求1所述的基于體振動的翻轉傾斜檢測結構，其特征在于：所述星形振動結構套設于所述錨點結構并與所述錨點結構間隔，所述星形振動結構與所述錨點結構之間設有多個梁結構，所述梁結構將所述星形振動結構與所述錨點結構相互連接。

4.根據權利要求3所述的基于體振動的翻轉傾斜檢測結構，其特征在于：所述梁結構的數量為3N，N為正整數。

5.根據權利要求4所述的基于體振動的翻轉傾斜檢測結構，其特征在于：所述梁結構均包括第一支撐梁以及與所述第一支撐梁呈對稱設置的第二支撐梁。

6.根據權利要求1所述的基于體振動的翻轉傾斜檢測結構，其特征在于：所述基底上設有絕緣層，所述錨點結構、所述面內換能器以及所述面外換能器均通過所述絕緣層與所述基底連接。

7.根據權利要求1所述的基于體振動的翻轉傾斜檢測結構，其特征在于：所述錨點結構設置在所述星形振動結構的內部。

8.根據權利要求4所述的基于體振動的翻轉傾斜檢測結構，其特征在于：所述面內換能器的數量為3N，所述面外換能器的數量為2N，其中N為正整數。

9.根據權利要求1所述的基于體振動的翻轉傾斜檢測結構，其特征在于：

所述面內換能器的換能形式包括電容、電感、熱電、壓電中的一種或多種組合；

所述面外換能器的換能形式包括電容、電感、熱電、壓電中的一種或多種組合。

10.根據權利要求1所述的基于體振動的翻轉傾斜檢測結構，其特征在于：所述星形振動結構的每個角部罩設有所述面內換能器，且所述面內換能器關于所述星形振動結構的角部的對角線對稱。