[發明專利]一種單節長旋轉ITO靶材燒結制備工藝在審
| 申請號： | 202110473471.4 | 申請日： | 2021-04-29 |
| 公開（公告）號： | CN113357925A | 公開（公告）日： | 2021-09-07 |
| 發明（設計）人： | 曾墩風;王志強;曾探;石煜 | 申請（專利權）人： | 蕪湖映日科技股份有限公司 |
| 主分類號： | F27D5/00 | 分類號： | F27D5/00;F27D1/00;F27D11/02;C04B35/64;C04B35/457 |
| 代理公司： | 南京正聯知識產權代理有限公司 32243 | 代理人： | 楊靜 |
| 地址： | 241000 安徽省蕪湖市中國(安徽)自*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 單節長 旋轉 ito 燒結 制備 工藝 | ||
1.一種單節長旋轉ITO靶材燒結制備工藝，其特征在于：
在燒結爐底座放一塊中間挖好孔的材質為氧化鋁承燒板，之后承燒板在鋪上1-4層環型素胚墊環，每個環型素胚墊環上下兩側均鋪有球型石英砂，形成環型墊，環型素胚墊環中間孔與承燒板中間孔位置重合；最后將ITO靶筒素胚放置到環型墊上進行燒結。
2.如權利要求1所述一種單節長旋轉ITO靶材燒結制備工藝，其特征在于：所述環型素胚墊環為與ITO靶材內外徑大小一致的，厚度為10-25mm的環型素胚墊環。
3.如權利要求1所述一種單節長旋轉ITO靶材燒結制備工藝，其特征在于：所述ITO靶筒素胚為長度600mm-1500mm、厚度為8-15mm的ITO靶筒素胚。
4.如權利要求1所述一種單節長旋轉ITO靶材燒結制備工藝，其特征在于：所述燒結爐上下兩層硅鉬棒，均勻分布在爐膛一周來進行分段控制加熱源的輸出；爐壁采用多層陶瓷纖維板防止漏熱，底部及側面四周均勻分布氧氣進氣口，側面進氣口分上、中、下三層，頂部設置出氣孔。
5.如權利要求1所述一種單節長旋轉ITO靶材燒結制備工藝，其特征在于：燒結采用燒結曲線進行燒結，曲線溫度分配如下：
（一）0℃升溫到600℃，升溫6小時，保溫15小時；
（二）600℃升溫到1200℃以上，升溫6小時，保溫16個小時，此過程開始通過氧氣，氧氣流量20L/min；
（三）1200℃升溫到1580℃，升溫6小時，保溫20小時；
（四）1580℃降溫到1400℃，降溫6小時；
（五）1400℃降溫到1000℃，降溫8小時，此過程開始斷氧；
（六）1000℃后開始通入空氣，加速冷卻，直到出爐。
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