[發明專利]一種一體化多余度離子化傳感器在審
| 申請號: | 202110473066.2 | 申請日: | 2021-04-29 |
| 公開(公告)號: | CN113176327A | 公開(公告)日: | 2021-07-27 |
| 發明(設計)人: | 錢祎棠;齊寶玲;錢永彪;杭益青;任歡歡 | 申請(專利權)人: | 上海蘇薩電子科技有限公司;盟莆安電子(上海)有限公司 |
| 主分類號: | G01N27/62 | 分類號: | G01N27/62 |
| 代理公司: | 上海匯齊專利代理事務所(普通合伙) 31364 | 代理人: | 童強 |
| 地址: | 200000 上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 一體化 多余 離子化 傳感器 | ||
1.一種一體化多余度離子化傳感器,所述傳感器上設置有進氣口、電離室、出氣口,且所述進氣口、出氣口與所述電離室連通;其特征在于,所述電離室內至少包含:
一個偏置電極,用于對被測氣體施加直流電壓;
兩個收集電極,用于獲取與被測氣體濃度相對應的電流信號;
兩個真空紫外燈,且所述真空紫外燈配置的輸出光子能量不同或相同,用于被測氣體施冗余測量和去除被氣體中的干擾物;
一個高壓驅動模塊,用于驅動所述真空紫外燈。
2.根據權利要求1所述的一體化多余度離子化傳感器,其特征在于:所述真空紫外燈配置的輸出光子能量相同,且所述高壓驅動模塊獨立驅動所述真空紫外燈;
檢測時,向電離室內通入被測氣體,先開啟其中一個真空紫外燈,并利用收集電極收集到一定強度的離子流信號后再開啟另一真空紫外燈,并利用收集電極收集離子流信號,通過在后采集的離子流信號檢驗在前采集的離子流信號,減少測量誤差。
3.根據權利要求1所述的一體化多余度離子化傳感器,其特征在于:所述真空紫外燈配置的輸出光子能量不同,且所述高壓驅動模塊并行驅動所述真空紫外燈;
檢測時,向電離室內通入被測氣體,由于輸出光子能量不同,電離室內的收集電極收集到不同的離子流信號,利用離子流信號差值計算被測氣體中所對應的有機揮發物濃度。
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