[發(fā)明專(zhuān)利]一種精密熱氦檢漏用電加熱元件和檢漏方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110472077.9
• 申請(qǐng)日: 2021-04-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113532759B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 諶繼明;冷楨;段旭如;蔣世杰;王平懷;李濘;王焜;許敏;任元國(guó);周毅;陳新
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 核工業(yè)西南物理研究院;成都國(guó)光電氣股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01M3/20
• 分類(lèi)號(hào): G01M3/20;H05B3/02;H05B3/04;H05B3/40
• 代理公司: 核工業(yè)專(zhuān)利中心 11007
• 代理人: 董和煦

1.一種精密熱氦檢漏用電加熱元件，其特征在于：包括電加熱棒(8)、加熱棒套筒(11)、電加熱棒連接法蘭(7)、套筒連接法蘭(9)、金屬密封圈(13)，加熱棒套筒(11)為一端封閉一端開(kāi)孔的棒狀結(jié)構(gòu)，電加熱棒(8)安裝在加熱棒套筒(11)內(nèi)部，加熱棒套筒(11)開(kāi)口部設(shè)有電加熱棒連接法蘭(7)，與內(nèi)部的電加熱棒(8)連接；加熱棒套筒(11)的外壁上安裝有套筒連接法蘭(9)，在電加熱棒連接法蘭(7)與套筒連接法蘭(9)之間的加熱棒套筒(11)上，連接有三通接頭(6)，三通接頭(6)與加熱棒套筒(11)內(nèi)部連通，另一端連接至氦氣輸入口；真空室(10)底部開(kāi)有通孔，通孔上設(shè)有與套筒連接法蘭(9)相配合的安裝基礎(chǔ)，加熱棒套筒(11)插入通孔內(nèi)，通過(guò)套筒連接法蘭(9)與真空室(10)固定安裝；

所述套筒連接法蘭(9)與安裝基礎(chǔ)之間設(shè)有金屬密封圈(13)；

所述真空室(10)的外壁上分別連接有真空泵組(2)和氦質(zhì)譜檢漏儀(3)；真空室(10)的外壁上還安裝有全量程規(guī)(12)和熱電偶(14)，全量程規(guī)(12)實(shí)時(shí)檢測(cè)真空室內(nèi)部真空度，熱電偶(14)實(shí)時(shí)檢測(cè)真空室內(nèi)部溫度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種精密熱氦檢漏用電加熱元件，其特征在于：所述真空泵組(2)對(duì)真空室進(jìn)行排氣并達(dá)到低真空。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種精密熱氦檢漏用電加熱元件，其特征在于：所述氦質(zhì)譜檢漏儀(3)對(duì)電加熱棒(8)進(jìn)行檢漏。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種精密熱氦檢漏用電加熱元件，其特征在于：所述電加熱棒連接法蘭(7)對(duì)電加熱棒(8)進(jìn)行固定和密封。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種精密熱氦檢漏用電加熱元件，其特征在于：所述真空室(10)提供電加熱棒檢漏場(chǎng)所。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種精密熱氦檢漏用電加熱元件，其特征在于：所述加熱棒套筒(11)主要作用是作為保護(hù)套加裝在電加熱棒外部，密封電加熱棒且能被檢漏，內(nèi)部能沖入惰性氣體提高本電加熱棒的加熱效率。

7.一種精密熱氦檢漏用電加熱元件檢漏方法，其基于權(quán)利要求1-6任意一項(xiàng)所述的一種精密熱氦檢漏用電加熱元件，其特征在于：包括如下步驟：

步驟(1)，初步檢測(cè)真空室(10)內(nèi)本底漏率；

將電加熱棒連接至真空室(10)上，開(kāi)啟真空泵組(2)、全量程規(guī)(12)，待真空室(10)真空度穩(wěn)定后，開(kāi)啟氦質(zhì)譜檢漏儀(3)，記錄穩(wěn)定后的真空室(10)本底漏率；

步驟(2)，通過(guò)外接真空泵組將加熱棒套筒(11)抽至低真空；

步驟(3)，檢測(cè)常溫狀態(tài)下的電加熱棒漏率；

向加熱棒套筒(11)沖入氦氣，通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀(3)測(cè)得該電加熱棒常溫下的漏率；

步驟(4)，檢測(cè)工作狀態(tài)下的電加熱棒漏率；

通過(guò)電加熱棒連接法蘭(7)啟動(dòng)電加熱棒并加熱至工作溫度，通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀(3)測(cè)得該電加熱棒高溫下的漏率；

步驟(5)，在完成檢漏確保該電加熱棒滿足高溫下的漏率要求后，向加熱棒套筒(11)沖入惰性氣體，完成本電加熱棒的安裝及檢漏工作。