[發(fā)明專利]一種海膽狀有序微納陣列結(jié)構(gòu)的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110471485.2
• 申請日: 2021-04-29
• 公開（公告）號(hào): CN113185144B
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉廣菊;唐翔宇;李寬國
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽師范大學(xué)
• 主分類號(hào): C03C17/36
• 分類號(hào): C03C17/36;G01N21/01;G01N21/65
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1.一種海膽狀有序微納陣列結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，制備方法包括以下步驟：

S1: 在干凈的玻璃襯底表面自組裝上單層密排的PS微球模板得到PS/Glass基底；

S2:利用真空蒸鍍設(shè)備在PS/Glass基底上蒸鍍Ag納米級(jí)薄膜得到Ag/PS/Glass銀球帽陣列基底；

S3:將超薄氧化鋁模板(UTAM)轉(zhuǎn)移到步驟S2得到的基底上得到UTAM/Ag/PS/Glass基底；

S4:利用真空蒸鍍設(shè)備在UTAM/Ag/PS/Glass基底上蒸鍍Ag薄膜；

S5:利用膠帶去除超薄氧化鋁模板，制得海膽狀有序微納陣列結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種海膽狀有序微納陣列結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，步驟S1在干凈的玻璃襯底表面自組裝上單層密排的PS微球模板，包括如下分步驟：

S1-1: 將玻璃襯底進(jìn)行清洗和親水處理；

S1-2: 配置PS微球溶液；

S1-3: 配置十二烷基硫酸鈉(SDS)水溶液；

S1-4: 將所述玻璃襯底置于盛有去離子水的玻璃容器底部；

S1-5: 用微量移液器取適量PS球溶液在去離子水表面自組裝單層非密排PS球薄膜；

S1-6: 用微量移液器取 適量SDS溶液注入離子水表面制備大面積單層密排的PS球薄膜；

S1-7: 緩慢地移出玻璃容器中的去離子水，單層密排的PS球薄膜將整體轉(zhuǎn)移至容器底部的玻璃襯底上；

S1-8: 盛有單層密排的PS球薄膜的玻璃襯底自然晾干后置電加熱平臺(tái)上加熱PS球粘附在玻璃基底上制備出PS/Glass基底。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種海膽狀有序微納陣列結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，步驟S1-7中移出玻璃容器中的去離子水的速率為-1-3mL /min。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種海膽狀有序微納陣列結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，步驟S1-8中電加熱平臺(tái)的溫度為105~110 ℃ ，加熱時(shí)間為5~10分鐘。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種海膽狀有序微納陣列結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，步驟S3將超薄氧化鋁模板(UTAM)轉(zhuǎn)移到步驟S2得到的基底上得到UTAM/Ag/PS/Glass基底，包括如下分步驟：

S3-1: 利用二次陽極氧化方法制備出以PMMA膜為支撐層的超薄氧化鋁薄膜；

S3-2: 將氧化鋁薄膜置于丙酮溶液中，去除PMMA支撐層；

S3-3: 用清洗干凈的玻璃片撈起丙酮溶液中的超薄氧化鋁薄膜；

S3-4: 將步驟S3-3得到的基底緩慢地斜插入去離子水中將超薄氧化鋁薄膜完整地轉(zhuǎn)移到水表面；

S3-5: 將步驟S2得到的Ag/PS/Glass基底插入水中緩慢地?fù)破饝腋∨c水表面的超薄氧化鋁薄膜，自然晾干后得到UTAM/Ag/PS/Glass基底。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種海膽狀有序微納陣列結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，步驟S3-1超薄氧化鋁厚度與孔徑比3~6。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種海膽狀有序微納陣列結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，步驟S3-2氧化鋁薄膜浸泡在丙酮溶液15~30min。

8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種海膽狀有序微納陣列結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，步驟S4蒸鍍銀膜的厚度為50~250 nm。