[發(fā)明專(zhuān)利]光子集成芯片上的軌道角動(dòng)量濾波器實(shí)現(xiàn)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110471359.7
• 申請(qǐng)日: 2021-04-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113296188B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金賢敏;王慧明;唐豪
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海交通大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G02B6/12
• 分類(lèi)號(hào): G02B6/12;G02B6/122;G02B6/136
• 代理公司: 上海交達(dá)專(zhuān)利事務(wù)所 31201
• 代理人: 王毓理;王錫麟

1.一種光子集成芯片上的軌道角動(dòng)量濾波器實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于，利用飛秒激光直寫(xiě)加工出剖面為單臂螺線(xiàn)型的直波導(dǎo)陣列，通過(guò)對(duì)直寫(xiě)功率和結(jié)構(gòu)參數(shù)的調(diào)控使加工的特定波導(dǎo)具備只通過(guò)特定階數(shù)的軌道角動(dòng)量光束的能力，即軌道角動(dòng)量濾波；

所述的直波導(dǎo)陣列，為12根平行單模波導(dǎo)，該陣列的剖面構(gòu)成單臂螺線(xiàn)型；

所述的直波導(dǎo)陣列，具體為極坐標(biāo)系下參數(shù)方程為r=a+b*θ的阿基米德螺線(xiàn)，其中：r為徑向變量，θ為角向變量，a為圓心距離；b為螺旋半徑；

所述的飛秒激光直寫(xiě)，具體為脈沖能量2.7μJ，波長(zhǎng)為513nm，直寫(xiě)功率為135 mw，直寫(xiě)速度為5 mm/s。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光子集成芯片上的軌道角動(dòng)量濾波器實(shí)現(xiàn)方法，其特征是，所述的剖面，與飛秒激光直寫(xiě)方向呈90°夾角。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光子集成芯片上的軌道角動(dòng)量濾波器實(shí)現(xiàn)方法，其特征是，所述的加工，通過(guò)飛秒激光直寫(xiě)12次在光子集成芯片的表面深度為表面以下170 μm處掃描得到直波導(dǎo)陣列。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光子集成芯片上的軌道角動(dòng)量濾波器實(shí)現(xiàn)方法，其特征是，所述的光子集成芯片，采用硼硅酸鹽玻璃、熔融石英玻璃制成。