[發(fā)明專利]玻璃

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110468927.8
• 申請(qǐng)日: 2014-07-04
• 公開（公告）號(hào): CN112939453A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林昌宏;三和晉吉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本電氣硝子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C03C3/095
• 分類號(hào): C03C3/095;C03C3/093;C03B15/02;C03B25/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 任巖

本發(fā)明的玻璃，其特征在于，包含SiO₂、Al₂O₃、B₂O₃及RO(RO為MgO、CaO、SrO、BaO中的1種或2種以上)作為玻璃組成，且在從液相線溫度至(液相線溫度?50℃)的溫度范圍內(nèi)，析出的晶體為SiO₂?Al₂O₃?RO系晶體、SiO₂系晶體、SiO₂?Al₂O₃系晶體中的2種以上。

本申請(qǐng)是申請(qǐng)人提交的申請(qǐng)?zhí)枮?01480022055.0、PCT申請(qǐng)?zhí)枮镻CT/JP2014/067889，發(fā)明名稱為“玻璃”的申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。母案申請(qǐng)日為2014年7月4日，優(yōu)先權(quán)日為2013年7月11日。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及玻璃，具體而言，涉及適用于有機(jī)EL(OLED)顯示器、液晶顯示器的基板的玻璃。進(jìn)一步涉及適用于氧化物TFT、低溫p-Si·TFT(LTPS)驅(qū)動(dòng)的顯示器的基板的玻璃。

背景技術(shù)

一直以來(lái)，玻璃作為液晶顯示器等平板顯示器、硬盤、過(guò)濾器、傳感器等的基板得到廣泛應(yīng)用。近年來(lái)，除了現(xiàn)有的液晶顯示器，OLED顯示器因自發(fā)光、較高的色再現(xiàn)性、高視場(chǎng)角、快速響應(yīng)、高精細(xì)等原因被廣為開發(fā)，同時(shí)，已經(jīng)有一部分OLED顯示器實(shí)現(xiàn)了實(shí)用化。此外，對(duì)于智能手機(jī)等移動(dòng)機(jī)器的液晶顯示器、OLED顯示器而言，除了要求面積小，還要求顯示較多的信息，因此，需要超高精細(xì)的畫面。進(jìn)一步地，為了進(jìn)行動(dòng)畫顯示，還需要快速響應(yīng)。

在上述用途中，優(yōu)選OLED顯示器、或LTPS驅(qū)動(dòng)的液晶顯示器。OLED顯示器通過(guò)在構(gòu)成像素的OLED元件中流過(guò)電流而發(fā)光。因此，作為驅(qū)動(dòng)TFT元件，使用低電阻、高電子遷移率的材料。作為這樣的材料，除了上述的LTPS以外，以IGZO(銦、鎵、鋅氧化物)為代表的氧化物TFT備受注目。氧化物TFT為低電阻、高遷移率，且可在較低的溫度下形成?，F(xiàn)有的p-Si·TFT、特別是LTPS，起因于對(duì)非晶體Si(a-Si)的膜進(jìn)行多晶體化時(shí)所使用的準(zhǔn)分子激光的不穩(wěn)定性，大面積的玻璃板中形成元件時(shí)容易產(chǎn)生TFT特性的不均，在TV用途等中，容易產(chǎn)生畫面的顯示斑點(diǎn)。另一方面，關(guān)于氧化物TFT，在大面積的玻璃板上形成元件時(shí)，TFT特性的均質(zhì)性優(yōu)異，因此，作為有力的TFT形成材料備受注目，已經(jīng)有一部分氧化物TFT實(shí)現(xiàn)了實(shí)用化。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問(wèn)題

對(duì)于在高精細(xì)的顯示器的基板中使用的玻璃，要求較多的特性。特別是，要求以下(1)～(5)的特性。

(1)若玻璃中的堿成分較多，則在熱處理中，堿離子會(huì)向已成膜的半導(dǎo)體物質(zhì)中擴(kuò)散，導(dǎo)致膜特性的劣化。因此，要求堿成分(特別是，Li成分、Na成分)的含量較低，或者實(shí)質(zhì)上不含堿成分。

(2)在光刻工序中，將使用各種酸、堿等試劑。因此，要求耐藥品性優(yōu)異。

(3)在成膜、退火等工序中，將在數(shù)百℃的溫度下對(duì)玻璃板進(jìn)行熱處理。熱處理時(shí)，玻璃板一旦發(fā)生熱收縮，就容易發(fā)生圖案錯(cuò)位等。因此，要求不易發(fā)生熱收縮，特別是應(yīng)變點(diǎn)較高。

(4)要求熱膨脹系數(shù)和在玻璃板上成膜的部件(例如，a-Si、p-Si)接近。例如，要求熱膨脹系數(shù)為30～40×10^-7/℃。需要說(shuō)明的是，若熱膨脹系數(shù)為40×10^-7/℃以下，則耐熱沖擊性也可得到提高。

(5)為了抑制因玻璃板的撓曲導(dǎo)致的不良狀況，要求楊氏模量(或比楊氏模量)較高。

進(jìn)一步地，從制作玻璃板的觀點(diǎn)出發(fā)，對(duì)玻璃要求以下(6)、(7)的特性。

(6)為了防止氣泡、白點(diǎn)(ブ少)、紋理等熔融缺陷，要求熔融性優(yōu)異。

(7)為了避免在玻璃板中產(chǎn)生異物，要求耐失透性優(yōu)異。