[發明專利]一種復合薄膜及其制備方法和應用

有效

• 申請號: 202110467886.0
• 申請日: 2021-04-28
• 公開（公告）號: CN113186494B
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 王奕涵
• 申請（專利權）人: 江蘇壹光科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;C23C14/18;C23C14/54;H10K50/844
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 劉奇

本發明屬于有機發光二極管封裝技術領域，具體涉及一種復合薄膜及其制備方法和應用。本發明提供了一種復合薄膜，包括交替層疊設置的金屬/金屬氟化物層和含氟有機物層；所述金屬/金屬氟化物層的材料包括金屬和金屬氟化物；所述含氟有機物層的材料包括全氟酞菁銅；所述金屬的粒徑大于金屬氟化物的粒徑。本發明采用金屬和金屬氟化物相結合，能夠提高復合薄膜對空氣的隔絕效果；同時結合含氟有機物層，進一步提高了復合薄膜防水性能和對氧氣的阻擋性能。將其應用于OLED封裝，能夠提高封裝的可靠性，延長器件的使用壽命。

技術領域

本發明屬于有機發光二極管封裝技術領域，具體涉及一種復合薄膜及其制備方法和應用。

背景技術

有機發光二極管(OLED)具有自發光、寬視角、高對比度、可撓曲、相應速度快和低功耗等特性，作為新一代的顯示技術，已開始逐漸取代傳統液晶顯示器。OLED采用有機材料涂層作為發光材料，當電流通過時，有機材料即會發光。但是這些有機發光材料容易和水及氧氣發生反應，導致器件發光亮度下降、壽命衰減。因此需要對OLED器件進行封裝處理。

傳統的封裝方式主要為蓋板封裝，在器件制作后，將器件放在氮氣環境下，在其頂部加一個剛性蓋板，在蓋板內側固定足量的干燥劑，采用環氧樹脂作為黏連膠體，將蓋板和器件進行封裝。但由于蓋板本身不具有疏水性以及蓋板和環氧樹脂之間的縫隙無法避免，同時環氧樹脂本身老化快，在長時間的使用過程中，水和氧氣依然會滲入器件，降低封裝的可靠性，造成OLED器件的性能下降甚至失效。

發明內容

本發明提供了一種復合薄膜，將其應用于OLED器件的封裝時，能夠有效的提高封裝的可靠性，有效避免水和氧氣的滲入而造成的OLED器件性能下降的問題。

為了實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

本發明提供了一種復合薄膜，包括交替層疊設置的金屬/金屬氟化物層和含氟有機物層；

所述金屬/金屬氟化物層的材料包括金屬和金屬氟化物；

所述含氟有機物層的材料包括全氟酞菁銅；

所述金屬的粒徑大于金屬氟化物的粒徑。

優選的，所述金屬包括金、銀或鋁；

所述金屬氟化物包括堿金屬氟化物和堿土金屬氟化物中的一種。

優選的，所述金屬和金屬氟化物的質量比為1～2：1。

優選的，所述金屬/金屬氟化物層和含氟有機物層的厚度獨立的為10～100nm。

優選的，所述金屬/金屬氟化物層和含氟有機物層的層數均≥1；所述金屬/金屬氟化物層和含氟有機物層依次交替層疊設置，且所述金屬/金屬氟化物層和含氟有機物層的層數相同。

本發明還提供了上述技術方案所述的復合薄膜的制備方法，包括以下步驟：

在基體表面同時第一蒸鍍金屬和金屬氟化物，得到金屬/金屬氟化物層；

在所述金屬/金屬氟化物層表面第二蒸鍍全氟酞菁銅，得到復合薄膜。

優選的，第一蒸鍍和第二蒸鍍的蒸鍍速度獨立的為

優選的，進行第一蒸鍍時，所述金屬的蒸鍍電流為25～160A；

所述金屬氟化物的蒸鍍電流為55～65A；

所述第二蒸鍍的電流為60～70A。

優選的，所述第二蒸鍍完成后，還包括依次重復所述第一蒸鍍和第二蒸鍍；

所述重復的次數≥1。

本發明還提供了上述技術方案所述的復合薄膜或者上述技術方案所述制備方法制備得到的復合薄膜在OLED器件封裝中的應用。