[發明專利]一種紅外探測器芯片固定用夾具及其使用方法

在審

• 申請號: 202110465743.6
• 申請日: 2021-04-28
• 公開（公告）號: CN113390511A
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發明（設計）人: 李景峰;劉世光;王成剛;祁嬌嬌;寧提;劉銘
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十一研究所
• 主分類號: G01J5/00
• 分類號: G01J5/00;G01N3/04;G01N3/60
• 代理公司: 工業和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 華楓

1.一種紅外探測器芯片固定用夾具，其特征在于，包括：

承載臺，用于承載紅外探測器芯片，所述承載臺具有腔室和連通所述腔室的吸附孔；

當所述紅外探測器芯片放置于所述承載臺時，所述紅外探測器芯片覆蓋所述吸附孔，通過調節所述腔室的真空度來吸附所述紅外探測器芯片。

2.根據權利要求1所述的紅外探測器芯片固定用夾具，其特征在于，所述夾具還包括：氣壓調節組件，所述氣壓調節組件與所述腔室連通，用于調節所述腔室的真空度。

3.根據權利要求2所述的紅外探測器芯片固定用夾具，其特征在于，所述氣壓調節組件與所述承載臺可拆卸連接。

4.根據權利要求2所述的紅外探測器芯片固定用夾具，其特征在于，所述氣壓調節組件包括：

中空操作桿，所述中空操作桿的一端與所述腔室連通；

氣囊，所述氣囊與所述中空操作桿的另一端連通。

5.根據權利要求4所述的紅外探測器芯片固定用夾具，其特征在于，所述氣囊與所述中空操作桿可拆卸連接。

6.根據權利要求1所述的紅外探測器芯片固定用夾具，其特征在于，所述承載臺的承載面設有凹槽，所述吸附孔位于所述凹槽的底壁，所述紅外探測器芯片適于放置于所述凹槽內。

7.根據權利要求1所述的紅外探測器芯片固定用夾具，其特征在于，所述夾具還包括：

至少兩組固定組件，所述固定組件設于所述承載臺，用于限位所述紅外探測器芯片。

8.根據權利要求7所述的紅外探測器芯片固定用夾具，其特征在于，至少一組所述固定組件與所述承載臺可移動連接。

9.根據權利要求8所述的紅外探測器芯片固定用夾具，其特征在于，所述固定組件包括：

固定塊，所述固定塊可移動地設于所述承載臺；

定位件，所述定位件設于所述固定塊；

當所述固定塊移動至預設位置時，所述定位件與所述承載臺配合，以將所述固定塊固定于所述承載臺。

10.一種紅外探測器芯片固定用夾具的使用方法，其特征在于，所述方法采用如權利要求1-9中任一項所述的紅外探測器芯片固定用夾具，所述方法包括：

調節所述腔室內的真空度，使所述腔室內的氣壓小于腔室外部氣壓；

將紅外探測器芯片放置于所述承載臺，并使所述紅外探測器芯片覆蓋所述吸附孔，以通過壓力吸附固定所述紅外探測器芯片。