[發明專利]一種平面單位移驅動的雙穩態MEMS開關有效
| 申請號： | 202110463726.9 | 申請日： | 2021-04-27 |
| 公開（公告）號： | CN113130259B | 公開（公告）日： | 2023-01-24 |
| 發明（設計）人： | 唐彬;陶啟;蘭澤華;代俊;王曉紅;廖運來;唐自勵 | 申請（專利權）人： | 中國工程物理研究院電子工程研究所 |
| 主分類號： | H01H59/00 | 分類號： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中國工程物理研究院專利中心 51210 | 代理人： | 張保朝 |
| 地址： | 621999*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 平面 位移 驅動 雙穩態 mems 開關 | ||
1.一種平面單位移驅動的雙穩態MEMS開關，包括襯底，其特征在于，所述雙穩態MEMS開關還包括：
固定端，所述固定端包括：第一固定端(1)、第二固定端(2)和第三固定端(3)；所述第一固定端(1)和第二固定端(2)垂直安裝在襯底上；
所述第三固定端(3)安裝在襯底上，位于第一固定端(1)和第二固定端(2)下方，且其上側面有凸臺(3-2)；
所述凸臺(3-2)上表面有導電觸點；
彈性梁，所述彈性梁連接第一固定端(1)和第二固定端(2)，且具有懸空端；所述懸空端包括第一懸空端(6-1)、第二懸空端(4-1)和第三懸空端(7-1)；T型觸發執行器(8)，所述T型觸發執行器(8)位于第三固定端(3)下方，包括豎直方向的位移輸入連接桿(8-5)及水平方向的觸發桿；
所述T型觸發執行器(8)的觸發桿右端端面高于左端端面；
所述第一懸空端(6-1)和第三懸空端(7-1)分別位于T型觸發執行器(8)的觸發桿兩端部上方；
所述第二懸空端(4-1)為導電觸點，在自然狀態下位于凸臺(3-2)右側，但不與凸臺(3-2)右側壁接觸；
所述第一固定端(1)、第二固定端(2)、第三固定端(3)和彈性梁均為導電體；
所述彈性梁包括：
第一L型彈性梁(4)，所述第一L型彈性梁(4)一端與第二固定端(2)連接，另一端為第二懸空端(4-1)；
第一V型彈性梁(6)，所述第一V型彈性梁(6)一端與第一固定端(1)連接，另一端為第一懸空端(6-1)，第一V型彈性梁(6)中部外側設有凸起(6-2)，且第一V型彈性梁(6)的V形夾角小于第二V型彈性梁(7)的V形夾角；
第二L型彈性梁(5)，所述第二L型彈性梁(5)一端與第一L型彈性梁(4)連接，另一端與第一V型彈性梁(6)連接；
第二V型彈性梁(7)，所述第二V型彈性梁(7)一端與第一L型彈性梁(4)連接，另一端為第三懸空端(7-1)；
所述T型觸發執行器(8)的觸發桿兩端表面分別有左引導凸起(8-1)和右引導凸起(8-2)，左引導凸起(8-1)右側具有限位槽(8-3)，右引導凸起(8-2)右側有推動凸臺(8-4)；所述第一懸空端(6-1)位于左引導凸起(8-1)上方，第三懸空端(7-1)位于右引導凸起(8-2)上方。
2.根據權利要求1所述的平面單位移驅動的雙穩態MEMS開關，其特征在于，所述左引導凸起(8-1)和右引導凸起(8-2)均為三角形狀。
3.根據權利要求1所述的平面單位移驅動的雙穩態MEMS開關，其特征在于，所述第一固定端(1)、第二固定端(2)和第三固定端(3)的下表面均具有向下凸起的錨端。
4.根據權利要求1所述的平面單位移驅動的雙穩態MEMS開關，其特征在于，所述位移輸入連接桿(8-5)連接任意一種產生位移的驅動裝置。
5.根據權利要求1所述的平面單位移驅動的雙穩態MEMS開關，其特征在于，所述MEMS開關可作為電路開關或者位移開關。
6.根據權利要求1所述的平面單位移驅動的雙穩態MEMS開關，其特征在于，所述T型觸發執行器(8)與彈性梁位于同一平面。
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