[發明專利]一種雙面對位貼合精度檢測系統

在審

• 申請號: 202110463406.3
• 申請日: 2021-04-28
• 公開（公告）號: CN112985266A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 段光前;陳秀峰;陳中華;黃樹平;童杰
• 申請（專利權）人: 武漢先河激光技術有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 武漢瀛卓知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 42255
• 代理人: 朱詩恩

1.一種雙面對位貼合精度檢測系統，其特征在于，包括：

光線準直裝置，所述光線準直裝置包括相向設置的光線準直裝置一、光線準直裝置二，所述光線準直裝置一、光線準直裝置二用于將發散光準直為平行光；

光路轉換裝置，所述光路轉換裝置設置在所述光線準直裝置一與光線準直裝置二之間，所述光路轉換裝置用于將所述光線準直裝置一、光線準直裝置二準直后的光線進行角度調節以使射出的光線與準直后的光線相平行；

成像裝置，所述成像裝置設置在所述光路轉換裝置的一側，所述成像裝置用于接收所述光路轉換裝置射出的光線進行成像。

2.根據權利要求1所述的雙面對位貼合精度檢測系統，其特征在于，所述光線準直裝置一包括準直透鏡一（3），所述光線準直裝置二包括準直透鏡二（4）。

3.根據權利要求2所述的雙面對位貼合精度檢測系統，其特征在于，還包括光源，所述光源分別設置在所述準直透鏡一（3）的入射側以及準直透鏡二（4）的入射側。

4.根據權利要求1所述的雙面對位貼合精度檢測系統，其特征在于，所述光路轉換裝置包括光線偏轉元件一、光線偏轉元件二，所述光線偏轉元件一用于將所述光線準直裝置一、光線準直裝置二準直后的光線偏轉一定角度射出至所述光線偏轉元件二上，所述光線偏轉元件二用于將接收的光線偏轉至所述成像裝置。

5.根據權利要求4所述的雙面對位貼合精度檢測系統，其特征在于，所述光線偏轉元件一為反射鏡一（5），所述反射鏡一（5）包括兩個反射面，其中一個所述反射面用于將所述光線準直裝置一準直后的光線偏轉90度射出至所述光線偏轉元件二上，另一個所述反射面用于將所述光線準直裝置二準直后的光線偏轉90度射出至所述光線偏轉元件二上。

6.根據權利要求5所述的雙面對位貼合精度檢測系統，其特征在于，所述光線偏轉元件二為反射鏡二（6），所述反射鏡二（6）用于將接收的光線偏轉90度射出至所述成像裝置。

7.根據權利要求5所述的雙面對位貼合精度檢測系統，其特征在于，所述光線偏轉元件二包括半透半反鏡（61）、三棱鏡（62），所述半透半反鏡（61）可將所述反射鏡一（5）射出的光線射至所述三棱鏡（62）上，還可將所述三棱鏡（62）反射出的光線偏轉90度射出至所述成像裝置。

8.根據權利要求7所述的雙面對位貼合精度檢測系統，其特征在于，所述三棱鏡（62）包括透射面、反射面一、反射面二，所述反射面一與所述反射面二之間形成一定的夾角，所述透射面朝向所述半透半反鏡（61）。

9.根據權利要求1所述的雙面對位貼合精度檢測系統，其特征在于，所述成像裝置包括成像透鏡組（7）和CCD相機（8），所述成像透鏡組（7）用于將所述光路轉換裝置射出的光線進行成像，所述CCD相機（8）采集相應圖像。