[發(fā)明專利]一種雙面對(duì)位貼合精度檢測(cè)系統(tǒng)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110463406.3 | 申請(qǐng)日： | 2021-04-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN112985266A | 公開（公告）日： | 2021-06-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 段光前;陳秀峰;陳中華;黃樹平;童杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 武漢先河激光技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01B11/00 | 分類號(hào)： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 武漢瀛卓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 42255 | 代理人： | 朱詩(shī)恩 |
| 地址： | 430205 湖北省武漢市江夏區(qū)經(jīng)濟(jì)開*** | 國(guó)省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 雙面 對(duì)位 貼合 精度 檢測(cè) 系統(tǒng) | ||
1.一種雙面對(duì)位貼合精度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括：
光線準(zhǔn)直裝置，所述光線準(zhǔn)直裝置包括相向設(shè)置的光線準(zhǔn)直裝置一、光線準(zhǔn)直裝置二，所述光線準(zhǔn)直裝置一、光線準(zhǔn)直裝置二用于將發(fā)散光準(zhǔn)直為平行光；
光路轉(zhuǎn)換裝置，所述光路轉(zhuǎn)換裝置設(shè)置在所述光線準(zhǔn)直裝置一與光線準(zhǔn)直裝置二之間，所述光路轉(zhuǎn)換裝置用于將所述光線準(zhǔn)直裝置一、光線準(zhǔn)直裝置二準(zhǔn)直后的光線進(jìn)行角度調(diào)節(jié)以使射出的光線與準(zhǔn)直后的光線相平行；
成像裝置，所述成像裝置設(shè)置在所述光路轉(zhuǎn)換裝置的一側(cè)，所述成像裝置用于接收所述光路轉(zhuǎn)換裝置射出的光線進(jìn)行成像。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面對(duì)位貼合精度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述光線準(zhǔn)直裝置一包括準(zhǔn)直透鏡一（3），所述光線準(zhǔn)直裝置二包括準(zhǔn)直透鏡二（4）。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙面對(duì)位貼合精度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，還包括光源，所述光源分別設(shè)置在所述準(zhǔn)直透鏡一（3）的入射側(cè)以及準(zhǔn)直透鏡二（4）的入射側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面對(duì)位貼合精度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述光路轉(zhuǎn)換裝置包括光線偏轉(zhuǎn)元件一、光線偏轉(zhuǎn)元件二，所述光線偏轉(zhuǎn)元件一用于將所述光線準(zhǔn)直裝置一、光線準(zhǔn)直裝置二準(zhǔn)直后的光線偏轉(zhuǎn)一定角度射出至所述光線偏轉(zhuǎn)元件二上，所述光線偏轉(zhuǎn)元件二用于將接收的光線偏轉(zhuǎn)至所述成像裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的雙面對(duì)位貼合精度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述光線偏轉(zhuǎn)元件一為反射鏡一（5），所述反射鏡一（5）包括兩個(gè)反射面，其中一個(gè)所述反射面用于將所述光線準(zhǔn)直裝置一準(zhǔn)直后的光線偏轉(zhuǎn)90度射出至所述光線偏轉(zhuǎn)元件二上，另一個(gè)所述反射面用于將所述光線準(zhǔn)直裝置二準(zhǔn)直后的光線偏轉(zhuǎn)90度射出至所述光線偏轉(zhuǎn)元件二上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙面對(duì)位貼合精度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述光線偏轉(zhuǎn)元件二為反射鏡二（6），所述反射鏡二（6）用于將接收的光線偏轉(zhuǎn)90度射出至所述成像裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙面對(duì)位貼合精度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述光線偏轉(zhuǎn)元件二包括半透半反鏡（61）、三棱鏡（62），所述半透半反鏡（61）可將所述反射鏡一（5）射出的光線射至所述三棱鏡（62）上，還可將所述三棱鏡（62）反射出的光線偏轉(zhuǎn)90度射出至所述成像裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的雙面對(duì)位貼合精度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述三棱鏡（62）包括透射面、反射面一、反射面二，所述反射面一與所述反射面二之間形成一定的夾角，所述透射面朝向所述半透半反鏡（61）。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面對(duì)位貼合精度檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述成像裝置包括成像透鏡組（7）和CCD相機(jī)（8），所述成像透鏡組（7）用于將所述光路轉(zhuǎn)換裝置射出的光線進(jìn)行成像，所述CCD相機(jī)（8）采集相應(yīng)圖像。
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