[發(fā)明專利]一種化學(xué)機械拋光墊及其制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110461979.2
• 申請日: 2021-04-27
• 公開（公告）號: CN114701105A
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 相紅旗;陳浩聰;姚力軍
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波贏偉泰科新材料有限公司;寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B29C41/24
• 分類號: B29C41/24;B29C41/46;B24B37/24;B24D18/00;B29K75/00;B29L7/00
• 代理公司: 上海微策知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31333
• 代理人: 張靜

1.一種化學(xué)機械拋光墊的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：材料攪拌混合，混合后抽真空脫泡，制備樹脂漿料；

步驟2：成膜基材涂上脫模劑，所述樹脂漿料刮涂到所述成膜基材上；

步驟3：所述成膜基材進行第一次凝結(jié)，凝結(jié)時間為0.5-5分鐘，獲得可剝離的半固化狀態(tài)樹脂漿料，將所述半固化狀態(tài)樹脂漿料從所述成膜基材上剝離；

步驟4：對從所述成膜基材上剝離的半固化狀態(tài)樹脂漿料進行第二次凝結(jié)，凝結(jié)時間為10分鐘以上，通過后處理制得拋光墊；

所述樹脂漿料由聚氨酯樹脂、DMF、親水性添加劑、炭黑組成，所述第一次凝結(jié)和第二次凝結(jié)在凝結(jié)液中進行，所述凝結(jié)液包含有DMF。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述化學(xué)機械拋光墊的制備方法，其特征在于，所述第一次凝結(jié)中凝結(jié)液中DMF的質(zhì)量濃度在15％以下，所述第一次凝結(jié)的凝結(jié)液的溫度在40攝氏度以上，所述第一次凝結(jié)時間在0.5-5分鐘。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述化學(xué)機械拋光墊的制備方法，其特征在于，所述第二次凝結(jié)的凝結(jié)液中DMF質(zhì)量濃度在20％以上，或者加入溶劑，所述第二次凝結(jié)的凝結(jié)液的溫度在10攝氏度以下，所述第二次凝結(jié)的時間在10分鐘以上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述化學(xué)機械拋光墊的制備方法，其特征在于，所述親水性添加劑選自陰離子型表面活性劑、陽離子型表面活性劑、非離子型表面活性劑中的一種或多種。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述化學(xué)機械拋光墊的制備方法，其特征在于，所述陰離子型表面活性劑選自硫酸鹽、磷酸鹽、羧酸鹽、苯磺酸鹽中的一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述化學(xué)機械拋光墊的制備方法，其特征在于，所述陽離子型表面活性劑選自脂肪胺鹽、乙醇胺鹽、聚乙烯多胺鹽中的一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述化學(xué)機械拋光墊的制備方法，其特征在于，所述非離子型表面活性劑選自聚氧乙烯類、失水山梨醇酯類、蔗糖酯類、烷基醇酰胺類、改性纖維素類、改性淀粉中的一種。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述化學(xué)機械拋光墊的制備方法，其特征在于，所述改性纖維素類選自改性纖維素酯類、改性纖維素醚類中的一種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述化學(xué)機械拋光墊的制備方法，其特征在于，所述脫模劑是水溶性成膜物質(zhì)；所述水溶性成膜物質(zhì)選自羧甲基纖維素鈉、羥丙基甲基纖維素、阿拉伯樹膠、海藻酸鈉、聚乙二醇、聚乙烯醇中的一種或多種。

10.一種根據(jù)權(quán)利要求1～9任意一項所述的化學(xué)機械拋光墊的制備方法制備得到的拋光墊，在半導(dǎo)體芯片制造的化學(xué)機械拋光工藝中的應(yīng)用。