[發明專利]一種含氟清洗液組合物的制備方法

有效

• 申請號: 202110461586.1
• 申請日: 2021-04-27
• 公開（公告）號: CN113150884B
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 王溯;蔣闖;馮強強;史筱超;于仙仙;王亮
• 申請（專利權）人: 上海新陽半導體材料股份有限公司
• 主分類號: C11D1/72
• 分類號: C11D1/72;C11D3/39;C11D3/32;C11D3/33;C11D3/04;C11D3/30;C11D3/28;C11D3/20;C11D3/26;C11D3/60;C23F1/26
• 代理公司: 上海弼興律師事務所 31283
• 代理人: 王衛彬;陳卓

1.一種含氟清洗液組合物的制備方法，其特征在于，其包括如下步驟：將所述的含氟清洗液組合物中的各個組分混合，即得到所述的含氟清洗液組合物：

所述的含氟清洗液組合物包括下述質量分數的組分：10-30%氧化劑、0.001-0.01%還原型谷胱甘肽、0.001-0.25%半胱氨酸、1-5%氟化物、1-5%有機堿、0.01-2%螯合劑、0.01-2%緩蝕劑、0.5-3%羧酸銨、0.01-1% EO-PO聚合物L81、0.01-2% 9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和水，水補足余量；各組分質量分數之和為100%；

所述的氧化劑為過氧化氫、過氧化脲和過氧乙酸中一種或多種；

所述的氟化物為氟化氫；

所述的有機堿為四甲基氫氧化銨和/或膽堿；

所述的螯合劑為1,2-環己二胺-N,N,N',N'-四乙酸和/或乙二胺四乙酸；

所述的緩蝕劑為苯并三唑和/或甲苯三唑；

所述的羧酸銨為草酸銨和/或檸檬酸三銨。

2.如權利要求1所述的含氟清洗液組合物的制備方法，其特征在于，所述的含氟清洗液組合物的制備方法中，所述的混合的方式為將所述的組分中的固體組分加入到液體組分中，攪拌均勻；

和/或，所述的含氟清洗液組合物的制備方法中，所述的混合的溫度為10-30℃。

3.如權利要求1所述的含氟清洗液組合物的制備方法，其特征在于，所述的含氟清洗液組合物中，所述的氧化劑的質量分數為10-15%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的還原型谷胱甘肽的質量分數為0.005%-0.01%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的半胱氨酸的質量分數為0.15-0.25%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的氟化物的質量分數為1.0-2.5%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的有機堿的質量分數為1.0-2.5%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的螯合劑的質量分數為0.01-1.0%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的緩蝕劑的質量分數為0.01-0.5%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的羧酸銨的質量分數為0.5-1.0%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的EO-PO聚合物L81的質量分數為0.01-0.05%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙的質量分數為0.01-0.9%。

4.如權利要求1所述的含氟清洗液組合物的制備方法，其特征在于，所述的含氟清洗液組合物中，所述的氧化劑的質量分數為15-30%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的氟化物的質量分數為2.5-5.0%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的有機堿的質量分數為2.5-5.0%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的螯合劑的質量分數為1.0-2.0%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的緩蝕劑的質量分數為0.5-2.0%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的羧酸銨的質量分數為1.0-3.0%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的EO-PO聚合物L81的質量分數為0.05-1.0%；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙的質量分數為0.9-2.0%。

5.如權利要求1所述的含氟清洗液組合物的制備方法，其特征在于，所述的含氟清洗液組合物不含有胺類化合物、醇胺類化合物或胺-N-氧化合物；所述的胺類化合物為伯胺、仲胺、叔胺或者含有這些胺的醇類化合物；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的氧化劑為過氧化氫和/或過氧乙酸；

和/或，所述的含氟清洗液組合物中，所述的有機堿為四甲基氫氧化銨；

和/或，所述的水為去離子水。

6.如權利要求5所述的含氟清洗液組合物的制備方法，其特征在于，所述的醇胺類化合物為三乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N,N-二甲基二甘醇胺；

和/或，所述的胺-N-氧化合物為N-甲基嗎啉氧化物。