[發明專利]半導體加工設備的物料調度方法和裝置

有效

• 申請號: 202110457592.X
• 申請日: 2021-04-27
• 公開（公告）號: CN112987674B
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發明（設計）人: 崔琳;史思雪;劉慕雅
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種半導體加工設備的物料調度方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、建立物料列表，所述物料列表包括多個不同的工藝配方對應的物料組，每個所述物料組包括多個物料，多個所述物料被劃分成多個物料分組，每個所述物料分組包括至少一個所述物料；

S2、根據所述工藝配方和所述物料列表建立第一調度任務列表，所述第一調度任務列表包括多個物料調度任務組，所述物料組與所述物料調度任務組一一對應，每個所述物料調度任務組包括多個物料調度任務分組，所述物料分組與所述物料調度任務分組一一對應；每個所述物料調度任務分組包括至少一個物料調度任務；

S3、向求解器輸入所述第一調度任務列表，利用所述求解器計算并輸出執行所述第一調度任務列表中所有的所述物料調度任務花費時長最短的最優調度結果，并對所述最優調度結果解析獲得所有物料的移動序列；

所述步驟S3，包括：

S31、按第一預設規則從所述第一調度任務列表中選取指定數量的所述物料調度任務分組，組成第二調度任務列表；

S32、從所述第一調度任務列表中刪除已選取的所述物料調度任務分組；

S33、向所述求解器輸入所述第二調度任務列表，利用所述求解器計算并輸出所述第二調度任務列表中所有的所述物料調度任務花費時長最短的子最優調度結果，并對所述子最優調度結果解析獲得所述第二調度任務列表中所有物料的子移動序列；

S34、將所述子最優調度結果中最早完成的物料調度任務分組對應的結束時間點設定為補料時間點，并從所述子移動序列中篩選出在所述補料時間點以前的部分作為輸出序列，且存儲該輸出序列；

S35、判斷所述第一調度任務列表中是否還有所述物料調度任務分組，若有，則執行所述步驟S36；若沒有，則執行所述步驟S38；

S36、從所述第二調度任務列表中刪除所述最早完成的物料調度任務分組；

S37、按第二預設規則，重新選取一所述物料調度任務分組，并將重新選取的所述物料調度任務分組插入所述第二調度任務列表，然后返回所述步驟S32；

S38、將當前的所述子移動序列和之前存儲所有的所述輸出序列拼接成所述移動序列。

2.根據權利要求1所述的物料調度方法，其特征在于，所述第一預設規則包括：

從各個所述物料調度任務組中選取數量相同的所述物料調度任務分組；

其中，從各個所述物料調度任務組中選取的所述物料調度任務分組的數量等于所述指定數量與所述工藝配方的數量的比值。

3.根據權利要求2所述的物料調度方法，其特征在于，所述第二預設規則包括：

從所述第一調度任務列表中所述最早完成的物料調度任務分組對應的物料調度任務組中選取一物料調度任務分組，將該物料調度任務分組插入在所述第二調度任務列表中與所述最早完成的物料調度任務分組屬于同一物料調度任務組的物料調度任務分組的最后；

若所述第一調度任務列表中所述最早完成的物料調度任務分組對應的物料調度任務組中已沒有物料調度任務分組，則從所述第二物料列表中其他物料調度任務分組對應的物料調度任務組中選取一物料調度任務分組，將該物料調度任務分組插入在所述第二物料列表中與之屬于同一物料調度任務組的物料調度任務分組的最后。

4.根據權利要求1所述的物料調度方法，其特征在于，每個所述物料調度任務分組中的多個所述物料調度任務包括加工物料的加工任務和傳輸物料的傳輸任務；

在所述步驟S34中，在所述子最優調度結果中，對于所述最早完成的物料調度任務分組，在其結束時間點，若其他的物料調度任務分組中有未完成的所述傳輸任務，則將完成所有的所述傳輸任務的結束時間點設定為所述補料時間點；

若其他的物料調度任務分組中沒有未完成的所述傳輸任務，則將所述最早完成的物料調度任務分組的結束時間點設定為所述補料時間點。

5.根據權利要求1所述的物料調度方法，其特征在于，所述物料調度方法還包括：

累計各個工藝腔室執行同一物料調度任務組中各所述物料調度任務分組中為加工任務的物料調度任務的次數；

判斷各個所述工藝腔室的所述次數是否達到該物料調度任務組對應的工藝配方中預設的最大次數；

若達到，則在該物料調度任務組中的對應位置處插入為腔室清洗任務的物料調度任務。