[發(fā)明專利]一種用于拉晶設(shè)備的可調(diào)式多晶料夾持裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110457234.9
• 申請(qǐng)日: 2021-04-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113061973B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙亮;陳立民;王存;崔凱;崔磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 曲靖陽(yáng)光能源硅材料有限公司
• 主分類號(hào): C30B13/00
• 分類號(hào): C30B13/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京冠和權(quán)律師事務(wù)所 11399
• 代理人: 田春龍

本發(fā)明公開(kāi)了一種用于拉晶設(shè)備的可調(diào)式多晶料夾持裝置，包括：彎形圓盤，彎形圓盤上設(shè)于若干彎形孔；固定柱，固定柱設(shè)于彎形圓盤頂端；直形圓盤，直形圓盤套接于固定柱上，直形圓盤上設(shè)有若干直形孔；夾緊桿，夾緊桿底端設(shè)有夾緊盤，夾緊桿頂端依次穿過(guò)彎形孔和直形孔；固定環(huán)，固定環(huán)固定套接于夾緊桿上，固定環(huán)位于彎形圓盤和夾緊盤之間；固定螺母，固定螺母套接于夾緊桿上，固定螺母與夾緊桿之間通過(guò)螺紋連接，固定螺母位于直形圓盤的上方。通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)彎形圓盤來(lái)使多個(gè)夾緊桿向圓盤中心運(yùn)動(dòng)來(lái)使夾緊盤卡與多晶材料中，然后轉(zhuǎn)動(dòng)螺母完成對(duì)多晶材料的夾緊；同時(shí)，夾緊桿運(yùn)動(dòng)時(shí)可以對(duì)不同直徑的多晶材料完成夾緊。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及非金屬晶體技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及一種用于拉晶設(shè)備的可調(diào)式多晶料夾持裝置。

背景技術(shù)

硅材料是現(xiàn)代信息社會(huì)的基礎(chǔ)，它不僅是光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的主要功能材料，也是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，特別是電力電子器件的基礎(chǔ)材料。區(qū)熔法(FZ)生產(chǎn)單晶硅是區(qū)別于直拉爐(CZ)的一種新型的單晶生長(zhǎng)方法，它利用高頻感應(yīng)加熱線圈將高純度的多晶料局部融化，熔區(qū)依靠熔硅的表面張力和加熱線圈提供的磁托浮力而處于懸浮狀態(tài)，然后從熔區(qū)的下方利用籽晶將熔硅拉制成單晶。由于沒(méi)有坩堝污染，區(qū)熔爐生長(zhǎng)的單晶硅純度高，均勻性好，低微缺陷，其優(yōu)良的電學(xué)性能非常適合制作高反壓、大電流、大功率的電力電子器件。一般區(qū)熔單晶生產(chǎn)的過(guò)程是按照如下的順序進(jìn)行的：爐室清理——多晶料裝爐——晶體生長(zhǎng)——停爐冷卻——取出單晶。其中爐室清理、裝料等準(zhǔn)備工作時(shí)間占整個(gè)生產(chǎn)周期比例較高，造成生產(chǎn)效率不高。同時(shí)由于區(qū)熔法生產(chǎn)單晶純度、均勻性要求較高，且區(qū)熔生長(zhǎng)法熔區(qū)呈懸浮狀態(tài)，多晶硅料微小的震動(dòng)都可能打破熔區(qū)的平衡狀態(tài)。但是現(xiàn)有的固定裝置無(wú)法根據(jù)硅材料的直徑大小來(lái)進(jìn)行對(duì)應(yīng)的固定，需要根據(jù)硅材料的直徑不同準(zhǔn)備不同的固定裝置。因此，有必要提出一種用于拉晶設(shè)備的可調(diào)式多晶料夾持裝置，以至少部分地解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

在發(fā)明內(nèi)容部分中引入了一系列簡(jiǎn)化形式的概念，這將在具體實(shí)施方式部分中進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。本發(fā)明的發(fā)明內(nèi)容部分并不意味著要試圖限定出所要求保護(hù)的技術(shù)方案的關(guān)鍵特征和必要技術(shù)特征，更不意味著試圖確定所要求保護(hù)的技術(shù)方案的保護(hù)范圍。

為至少部分地解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種用于拉晶設(shè)備的可調(diào)式多晶料夾持裝置，包括：

彎形圓盤，所述彎形圓盤上設(shè)于若干彎形孔；

固定柱，所述固定柱設(shè)于所述彎形圓盤頂端；

直形圓盤，所述直形圓盤套接于所述固定柱上，所述直形圓盤上設(shè)有若干直形孔；

夾緊桿，所述夾緊桿底端設(shè)有夾緊盤，所述夾緊桿頂端依次穿過(guò)所述彎形孔和直形孔；

固定環(huán)，所述固定環(huán)固定套接于所述夾緊桿上，所述固定環(huán)位于所述彎形圓盤和夾緊盤之間；

固定螺母，所述固定螺母套接于所述夾緊桿上，所述固定螺母與所述夾緊桿之間通過(guò)螺紋連接，所述固定螺母位于所述直形圓盤的上方。

優(yōu)選的，固定球，所述固定球設(shè)于所述固定柱頂端；

所述夾緊桿上設(shè)有水平裝置，所述水平裝置包括：

水平圓盤，所述水平圓盤平行設(shè)于所述直形圓盤的上方，所述固定柱穿過(guò)所述水平圓盤；

調(diào)節(jié)螺桿，所述調(diào)節(jié)螺桿一端與調(diào)節(jié)螺母通過(guò)螺紋連接，所述調(diào)節(jié)螺桿的另一端穿過(guò)所述水平圓盤。

優(yōu)選的，所述直形圓盤頂端還設(shè)有輔助固定裝置，所述輔助固定裝置包括：

殼體，所述殼體設(shè)于所述直形圓盤頂端；

傳動(dòng)腔，所述傳動(dòng)腔設(shè)于所述殼體內(nèi)；

刻度腔，所述刻度腔設(shè)于所述殼體內(nèi)，所述刻度腔位于所述傳動(dòng)腔的上方；