[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)用預(yù)除塵清洗裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110455878.4
• 申請日: 2021-04-26
• 公開（公告）號: CN113172044A
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 高必靜
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B3/02;B08B13/00;B08B15/04;F26B21/00;B01D46/10
• 代理公司: 南昌逸辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 36145
• 代理人: 石聰燦

1.一種半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)用預(yù)除塵清洗裝置，包括箱體(1)，其特征在于，所述箱體(1)上固定連接有第一支撐架(3)，所述第一支撐架(3)上設(shè)有除塵機構(gòu)，所述箱體(1)上設(shè)有與除塵機構(gòu)通相互配合的第一傳送機構(gòu)；

所述箱體(1)內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動軸(7)，所述轉(zhuǎn)動軸(7)上固定連接有曲軸(702)，所述箱體(1)內(nèi)設(shè)有往復(fù)機構(gòu)，所述曲軸(702)驅(qū)動往復(fù)機構(gòu)工作，所述箱體(1)上設(shè)有與往復(fù)機構(gòu)相互配合和第二傳送機構(gòu)，所述第二傳送機構(gòu)通過第二皮帶(701)與轉(zhuǎn)動軸7相連接，所述第二傳送機構(gòu)通過第一皮帶(203)與第二傳送機構(gòu)相連接；

所述箱體(1)內(nèi)設(shè)有加熱機構(gòu)，所述箱體(1)上設(shè)有與加熱機構(gòu)相互配合的第三傳送機構(gòu)，所述第三傳送機構(gòu)通過第三皮帶(1003)與第二傳送機構(gòu)相連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)用預(yù)除塵清洗裝置，其特征在于，所述除塵機構(gòu)包括集塵槽(301)、鼓風(fēng)機(302)和集塵箱(4)，所述集塵槽(301)固定連接在第一支撐架(3)頂部內(nèi)壁，所述鼓風(fēng)機(302)固定連接在第一支撐架(3)側(cè)壁，所述集塵箱(4)固定連接在箱體(1)底部內(nèi)壁，所述鼓風(fēng)機(302)與集塵槽(301)之間連接有第一管道(303)，所述鼓風(fēng)機(302)與集塵箱(4)之間連接有第二管道(402)，所述集塵箱(4)內(nèi)滑動連接有濾網(wǎng)(401)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)用預(yù)除塵清洗裝置，其特征在于，所述第一傳送機構(gòu)包括電機(2)、第一轉(zhuǎn)軸(201)和第一傳送帶(202)，所述電機(2)固定連接在箱體(1)上，所述第一轉(zhuǎn)軸(201)轉(zhuǎn)動連接在箱體(1)上，所述第一傳送帶(202)連接在電機(2)與第一轉(zhuǎn)軸(201)之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)用預(yù)除塵清洗裝置，其特征在于，所述第二傳送機構(gòu)包括第二轉(zhuǎn)軸(5)、第二傳送帶(501)和第三轉(zhuǎn)軸(502)，所述第二轉(zhuǎn)軸(5)轉(zhuǎn)動連接在凹槽內(nèi)壁，所述第三轉(zhuǎn)軸(502)轉(zhuǎn)動連接在箱體(1)上，所述第二傳送帶(501)連接與第二轉(zhuǎn)軸(5)和第三轉(zhuǎn)軸(502)之間，所述第一皮帶(203)連接與第一轉(zhuǎn)軸(201)和第二轉(zhuǎn)軸(5)之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)用預(yù)除塵清洗裝置，其特征在于，所述往復(fù)機構(gòu)包括活塞(8)、儲液罐(703)和噴頭一(601)，所述活塞(8)與儲液罐(703)均固定連接在箱體(1)底部內(nèi)壁，所述活塞(8)與曲軸(702)之間轉(zhuǎn)動連接，所述箱體(1)上設(shè)有凹槽，所述凹槽底部固定連接有第二支撐架(6)，所述噴頭一(601)固定連接在第二支撐架(6)頂部內(nèi)壁，所述活塞(8)與儲液罐(703)之間連接有第一水管(801)，所述活塞(8)與噴頭一(601)之間連接有第二水管(802)，所述第一水管(801)與第二水管(802)內(nèi)均設(shè)有單向閥(803)，所述第二皮帶(701)連接與第二轉(zhuǎn)軸(5)和轉(zhuǎn)動軸(7)之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)用預(yù)除塵清洗裝置，其特征在于，所述加熱機構(gòu)包括加熱箱(12)、加熱絲(1201)和噴頭二(1101)，所述加熱箱(12)固定連接在箱體(1)頂部內(nèi)壁，所述加熱絲(1201)固定連接在加熱箱(12)內(nèi)壁，所述箱體(1)上固定連接有第三支撐架(11)，所述噴頭二(1101)固定連接在第三支撐架(11)頂部內(nèi)壁，所述加熱箱(12)與集塵箱(4)之間連接誒有排氣管一(403)，所述加熱箱(12)與噴頭二(1101)之間連接有排氣管二(1202)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)用預(yù)除塵清洗裝置，其特征在于，所述第三傳送機構(gòu)包括第四轉(zhuǎn)軸(10)、第五轉(zhuǎn)軸(1001)和第三傳送帶(1002)，所述第四轉(zhuǎn)軸(10)與第五轉(zhuǎn)軸(1001)均轉(zhuǎn)動連接在箱體(1)上，所述第三傳送帶(1002)連接與第四轉(zhuǎn)軸(10)和第五轉(zhuǎn)軸(1001)之間，所述第三皮帶(1003)連接與第三轉(zhuǎn)軸(502)和第四轉(zhuǎn)軸(10)之間。