[發明專利]多程級聯放大激光驅動器的調試裝置和方法

有效

• 申請號: 202110455245.3
• 申請日: 2021-04-26
• 公開（公告）號: CN113204126B
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 朱海東;郭愛林;張攀政;劉志剛;胡恒春;呂鳳年
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G02B27/62
• 分類號: G02B27/62;G02B7/04;G01M11/02
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種多程級聯放大激光驅動器的調試裝置，該多程級聯放大激光驅動器(7)包括傳輸空間濾波器(71)，助推放大器(72)，助推反射鏡(73)，透反偏振片(74)，腔反射鏡(75)，電光開關(76)，腔空間濾波器(77)，腔放大器(78)和變形鏡(79)，其特征在于：該調試裝置包括光纖光源組件(1)，楔形反射鏡(2)，波前采集組件(3)，波片組件(4)，真空機組(5)和計算機(6)；

所述的傳輸空間濾波器(71)包括傳輸空間真空管道、及固定在該傳輸空間真空管道前后兩端的傳輸空間輸入透鏡(712)、傳輸空間輸出透鏡(711)和傳輸空間濾波孔盤(713)，所述的傳輸空間輸出透鏡(711)固定在真空管道上，所述的傳輸空間輸入透鏡(712)具備驅動電機，在真空和大氣狀態下可沿傳輸空間真空管道軸向平移；

所述的腔空間濾波器(77)包括腔空間真空管道、及固定在該腔空間真空管道前后兩端的腔空間輸入透鏡(771)、腔空間輸出透鏡(772)和腔空間濾波孔盤(773)，所述的腔空間輸入透鏡(771)和腔空間輸出透鏡(772)均具備驅動電機，在真空和大氣狀態下可沿腔空間真空管道軸向平移；

所述的光纖光源組件(1)包括兩路功率可調的單模光纖光源(113)、以及位于傳輸空間真空管道內的第一光纖準直器(111)、第一直角全反射棱鏡(112)、第二光纖準直器(121)和第二直角全反射棱鏡(122)；所述的單模光纖光源(113)的第一輸出端通過第一路光纖(110)進入傳輸空間濾波器(71)的傳輸空間真空管道后與第一光纖準直器(111)相連，該第一光纖準直器(111)輸出光束發散角與傳輸空間輸入透鏡(712)相匹配，光束經過第一直角全反射棱鏡(112)分束鏡像成為傳輸空間濾波孔盤(713)的第一小孔(7131)的出射光束；所述的單模光纖光源(113)的第二輸出端通過第二路光纖(120)進入傳輸空間濾波器(71)的傳輸空間真空管道與第二光纖準直器(121)相連，該第二光纖準直器(121)輸出光束發散角與傳輸空間濾波器(71)的傳輸空間輸出透鏡(711)相匹配，光束經過第二直角全反射棱鏡(122)分束鏡像成為傳輸空間濾波孔盤(713)的第二小孔(7132)出射光束，該出射光束經第二光纖準直器(121)和傳輸空間輸出透鏡(711)準直后入射到所述的楔形反射鏡(2)，所述的楔形反射鏡(2)前表面鍍反射膜，后表面鍍增透膜；

所述的波前采集組件(3)包括波前傳感器(31)和位于傳輸空間真空管道內的小口徑透鏡(32)和反射鏡(33)；第二光纖準直器(121)和傳輸空間輸出透鏡(711)輸出的準直光束經所述的楔形反射鏡(2)前表面反射后偏轉微小角度返回傳輸空間輸出透鏡(711)，經所述的反射鏡(33)反射后進入小口徑透鏡(32)完成光束縮束后，入射至波前傳感器(31)；

所述的波片組件(4)包括位于所述的腔空間真空管道內第一波片(41)、第一波片驅動電機、第二波片(42)和第二波片驅動電機；第一波片(41)和第二波片(42)均為1/2波片，所述的第一波片(41)通過第一波片驅動電機移至腔空間濾波孔盤(773)的第二小孔(7732)處，所述的第二波片(42)通過第二波片驅動電機移至腔空間濾波孔盤(773)的第三小孔(7733)處；

微調透反偏振片(74)姿態將傳輸空間濾波器(71)的傳輸空間輸入透鏡(711)輸出的近衍射極限傍軸平面波微小偏轉后傍軸經過第一小孔(7731)后入射腔放大器(78)和變形鏡(79)；光束經變形鏡(79)反射折返后經過第四小孔(7734)后通過透反偏振片(74)反射后重新返回至助推空間濾波器(71)第五小孔(7735)中心位于與腔空間輸入透鏡(771)和腔空間輸出透鏡(772)共同焦點處；

所述的真空機組(5)包括由低真空機組和高真空機組構成的低溫泵真空組合機組(51)，以及傳輸真空閘板閥(52)和腔真空閘板閥(53)；所述的傳輸真空閘板閥(52)和腔真空閘板閥(53)分別與傳輸空間濾波器(71)和腔空間濾波器(77)相連通，通過控制傳輸真空閘板閥(52)和腔真空閘板閥(53)的開啟與關閉，維持傳輸空間濾波器(71)和腔空間濾波器(77)處于真空或大氣狀態；

所述的計算機(6)分別與所述的波前傳感器(31)和變形鏡(79)相連；所述的波前傳感器(31)采用連續或脈沖單幀觸發模式工作，測量入射至波前傳感器(31)光束的像差數據；所述的計算機(6)依據波前傳感器(31)的測量波前數據反饋控制所述的變形鏡(79)完成像差校正。