[發明專利]一種大尺寸硅單晶變爐壓改善放肩成活率裝置

在審

• 申請號: 202110450411.0
• 申請日: 2021-04-25
• 公開（公告）號: CN113122912A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 楊昊;余慶華;牛立東;黃懷玉
• 申請（專利權）人: 弘元新材料（包頭）有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B15/00;C30B15/32
• 代理公司: 北京睿博行遠知識產權代理有限公司 11297
• 代理人: 張燕平

1.一種大尺寸硅單晶變爐壓改善放肩成活率裝置，包括放肩行程管(1)，其特征在于：所述放肩行程管(1)的頂端從一端到另一端依次固定連接有氬氣注入管(2)、放肩拉動輸出結構(4)和真空抽排導管(3)，所述氬氣注入管(2)用于連接氬氣注入泵，從而向放肩行程管(1)內部注入氬氣，所述真空抽排導管(3)用于連接真空泵和機器泵，進行放肩行程管(1)內部的空氣抽排，從而配合氬氣注入管(2)形成在放肩行程管(1)內部的氣壓調節，所述放肩拉動輸出結構(4)用于對晶體進行放肩的自動變速控制帶動，所述放肩拉動輸出結構(4)的底端固定連接有晶體防脫定位結構(5)，所述晶體防脫定位結構(5)用于對晶體進行自動化防脫夾緊。

2.根據權利要求1所述的一種大尺寸硅單晶變爐壓改善放肩成活率裝置，其特征在于：所述放肩拉動輸出結構(4)包括放肩動導輸出結構和放肩伸縮結構，所述放肩動導輸出結構的底端固定連接有放肩伸縮結構。

3.根據權利要求2所述的一種大尺寸硅單晶變爐壓改善放肩成活率裝置，其特征在于：所述放肩動導輸出結構包括內裝搭載箱(6)、第一電機(7)、輸出軸桿(8)、低速帶動輪(9)、高速帶動輪(10)、基速帶動輪(11)和拉動輸出同心軸桿結構(12)，所述內裝搭載箱(6)的頂端通過螺釘固定連接有第一電機(7)，所述第一電機(7)的輸出端固定連接有輸出軸桿(8)，所述輸出軸桿(8)與內裝搭載箱(6)通過滾子軸承連接，所述輸出軸桿(8)的外側從上到下依次固定連接有低速帶動輪(9)、高速帶動輪(10)和基速帶動輪(11)，所述內裝搭載箱(6)的頂端固定連接有拉動輸出同心軸桿結構(12)，所述低速帶動輪(9)的直徑為三十五厘米，所述高速帶動輪(10)的直徑為五十五厘米，所述基速帶動輪(11)的直徑為四十五厘米。

4.根據權利要求3所述的一種大尺寸硅單晶變爐壓改善放肩成活率裝置，其特征在于：所述放肩動導輸出結構還包括低速從動輪(13)、高速從動輪(14)、基速從動輪(15)和終端輸出齒輪軸(16)，所述拉動輸出同心軸桿結構(12)的底端的外側從上到下依次固定連接有低速從動輪(13)、高速從動輪(14)和基速從動輪(15)，所述低速從動輪(13)的直徑為五十五厘米，所述高速從動輪(14)的直徑為三十五厘米，所述基速從動輪(15)的直徑為四十五厘米，所述基速從動輪(15)與基速帶動輪(11)嚙合連接，所述拉動輸出同心軸桿結構(12)底端的一側嚙合連接有終端輸出齒輪軸(16)，所述終端輸出齒輪軸(16)的頂端與內裝搭載箱(6)轉動連接。

5.根據權利要求4所述的一種大尺寸硅單晶變爐壓改善放肩成活率裝置，其特征在于：所述拉動輸出同心軸桿結構(12)包括L型定位搭載板(17)、液壓活塞缸(18)、第一軸承(19)、同心軸桿主體(20)、外裝卡環(21)、第二軸承(22)、預留行程桿(23)和動導接觸齒輪(24),所述L型定位搭載板(17)的頂端通過螺釘固定連接有液壓活塞缸(18)，所述液壓活塞缸(18)的輸出端的內側轉動連接有第一軸承(19)，所述第一軸承(19)的內側卡接有同心軸桿主體(20)，所述同心軸桿主體(20)的外側焊接有外裝卡環(21)，所述外裝卡環(21)的外側活動卡接有第二軸承(22)，所述同心軸桿主體(20)與內裝搭載箱(6)通過第二軸承(22)連接，所述同心軸桿主體(20)的底端內側開設有調節行程槽，所述調節行程槽的內部滑動連接有預留行程桿(23)，所述預留行程桿(23)的底端固定有動導接觸齒輪(24)，所述動導接觸齒輪(24)與終端輸出齒輪軸(16)嚙合連接。

6.根據權利要求4所述的一種大尺寸硅單晶變爐壓改善放肩成活率裝置，其特征在于：所述放肩伸縮結構包括拉動行程桿(25)、螺桿(26)、同步推導塊(27)、延伸傳導桿(28)和裝配定位板(29)，所述終端輸出齒輪軸(16)的底端固定連接有螺桿(26)，所述螺桿(26)與拉動行程桿(25)的內側轉動連接，所述螺桿(26)的外側通過螺紋連接有同步推導塊(27)，所述同步推導塊(27)的兩端與拉動行程桿(25)滑動連接，所述同步推導塊(27)兩端的內側通過螺釘固定連接有延伸傳導桿(28)，所述延伸傳導桿(28)的底端焊接有裝配定位板(29)。