[發(fā)明專(zhuān)利]一種鎳鐵銅鉬合金靶材的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110447431.2
• 申請(qǐng)日: 2021-04-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113265627B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-12-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張俊飛;蔡新志;童培云;朱劉;冉成義
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/34
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/34;C22C1/03;C22C19/03;B22D7/06
• 代理公司: 廣州三環(huán)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

1.一種鎳鐵銅鉬合金靶材的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

（1）將原料Mo和原料Ni加入熔煉爐中，在真空環(huán)境下進(jìn)行懸浮熔煉，冷卻后得到合金錠A；

（2）將原料Fe和原料Cu添加入步驟（1）含有合金錠A熔煉爐中，在真空環(huán)境下繼續(xù)熔煉處理，冷卻后得到合金錠B；

（3）將合金錠B在真空環(huán)境下精煉三次，進(jìn)行第三次精煉后將合金錠B的熔體進(jìn)行澆鑄得到鑄錠；

（4）將步驟（3）得到的鑄錠進(jìn)行軋制處理，得到所述鎳鐵銅鉬合金靶材；

所述原料Mo、原料Ni、原料Fe和原料Cu的重量比為Mo：Ni：Fe：Cu=5.9~6.9：74.8~75.8：12.5~13.5：4.8~5.8；

所述步驟（3）中，將合金熔體置于水冷碳鋼模具中澆鑄，同時(shí)使用10℃的冷卻水，使合金熔體自下而上冷卻，得到鑄錠。

2.如權(quán)利要求1所述鎳鐵銅鉬合金靶材的制備方法，其特征在于，所述真空環(huán)境具體為：將熔煉爐抽真空后，充入保護(hù)氣洗爐，再次抽真空后充入保護(hù)氣；所述抽真空的氣壓為2.0í10^-2 Pa；所述充入保護(hù)氣的氣壓為0.06-0.12MPa。

3.如權(quán)利要求1所述鎳鐵銅鉬合金靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟（1）中，懸浮熔煉的溫度為1500-1550℃，時(shí)間為7-14min。

4.如權(quán)利要求1所述鎳鐵銅鉬合金靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟（2）中，熔煉的溫度為1450-1550℃，時(shí)間為4-8min。

5.如權(quán)利要求4所述鎳鐵銅鉬合金靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟（3）中，合金錠B精煉的溫度為1450-1500℃，時(shí)間為3-5min。

6.如權(quán)利要求1所述鎳鐵銅鉬合金靶材的制備方法，其特征在于，將步驟（3）得到的鑄錠加熱后，進(jìn)行第一階段軋制，然后進(jìn)行第二階段軋制。

7.如權(quán)利要求6所述鎳鐵銅鉬合金靶材的制備方法，其特征在于，所述第一階段對(duì)加熱后的鑄錠進(jìn)行多道次軋制，第一階段軋制結(jié)束后鑄錠的變形量為總變形量的20%，其中，每道次軋制變形量為總變形量的5-10%，每軋制2道次后將軋制后的鑄錠重新加熱處理；所述第二階段對(duì)第一階段軋制后的鑄錠進(jìn)行多道次軋制，第二階段軋制結(jié)束后鑄錠的變形量為總變形量的80%，其中，每道次軋制變形量為總變形量的10-20%，每軋制2道次后將軋制后的鑄錠重新加熱處理。

8.如權(quán)利要求7所述鎳鐵銅鉬合金靶材的制備方法，其特征在于，所述鑄錠加熱溫度為950-1000℃，時(shí)間為0.5-1h；所述重新加熱的溫度為950-1000℃，時(shí)間為5-10min。