[發(fā)明專利]一種用于提高拋光效率的半導(dǎo)體材料拋光裝置

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• 申請日: 2021-04-25
• 公開（公告）號: CN113118954A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孔敏
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州訊瓏智能科技有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/00;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/22
• 代理公司: 北京高航知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11530
• 代理人: 王龐

1.一種用于提高拋光效率的半導(dǎo)體材料拋光裝置，包括主體(1)，其特征在于：所述主體(1)的左右內(nèi)壁上均設(shè)置安裝有固定基座(2)，所述固定基座(2)之間設(shè)置安裝有固定部件(3)，所述固定部件(3)的中心處設(shè)置安裝有放置平臺(4)，所述主體(1)的內(nèi)壁上設(shè)置安裝有驅(qū)動裝置(5)，所述驅(qū)動裝置(5)的左側(cè)設(shè)置安裝有驅(qū)動螺紋桿(6)，所述固定部件(3)的上側(cè)設(shè)置安裝有外齒條(7)，所述驅(qū)動螺紋桿(6)與外齒條(7)通過螺紋嚙合連接。

2.如權(quán)利要求1所述一種用于提高拋光效率的半導(dǎo)體材料拋光裝置，其特征在于：所述固定部件(3)的內(nèi)壁上設(shè)置安裝有活動連桿(8)，所述活動連桿(8)的軸端設(shè)置有活動件(9)，所述活動件(9)的外側(cè)設(shè)置安裝有活動部件(10)，所述活動部件(10)的外側(cè)固定安裝有固定裝置(11)。

3.如權(quán)利要求2所述一種用于提高拋光效率的半導(dǎo)體材料拋光裝置，其特征在于：所述固定裝置(11)的內(nèi)部開設(shè)有凹槽，且凹槽的內(nèi)部設(shè)置安裝有緩沖彈簧(12)，所述緩沖彈簧(12)的下端固定連接有連接桿(13)，所述連接桿(13)的下端固定安裝有固定板(14)，所述固定板(14)的外側(cè)設(shè)置有防護層(15)。

4.如權(quán)利要求3所述一種用于提高拋光效率的半導(dǎo)體材料拋光裝置，其特征在于：所述固定部件(3)的內(nèi)壁上設(shè)置安裝有殼體(16)，所述殼體(16)的內(nèi)壁底部固定安裝有安裝基座(17)，所述安裝基座(17)的上側(cè)設(shè)置安裝有驅(qū)動機構(gòu)(18)，所述驅(qū)動機構(gòu)(18)的上側(cè)設(shè)置安裝有活動伸縮桿(19)。

5.如權(quán)利要求4所述一種用于提高拋光效率的半導(dǎo)體材料拋光裝置，其特征在于：所述殼體(16)的內(nèi)壁上設(shè)置安裝有穩(wěn)定連桿(20)，所述穩(wěn)定連桿(20)的軸端與活動伸縮桿(19)相配合安裝。

6.如權(quán)利要求5所述一種用于提高拋光效率的半導(dǎo)體材料拋光裝置，其特征在于：所述活動伸縮桿(19)的上端設(shè)置安裝有拋光裝置(21)，所述拋光裝置(21)的中心軸設(shè)置有活動軸承(22)，所述活動軸承(22)與活動伸縮桿(19)相配合安裝。

7.如權(quán)利要求6所述一種用于提高拋光效率的半導(dǎo)體材料拋光裝置，其特征在于：所述拋光裝置(21)的內(nèi)部設(shè)置安裝有緩沖氣囊(23)，所述緩沖氣囊(23)的外側(cè)設(shè)置連接有支撐架(24)，所述支撐架(24)的軸端固定安裝有安裝架(25)，所述安裝架(25)上活動安裝有拋光機構(gòu)(26)。

8.如權(quán)利要求7所述一種用于提高拋光效率的半導(dǎo)體材料拋光裝置，其特征在于：所述拋光機構(gòu)(26)的外側(cè)設(shè)置安裝有拋光頭(27)，所述拋光頭(27)的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)腔(28)，所述內(nèi)腔(28)中設(shè)置有非牛頓流體。