[發明專利]一種晶圓干燥系統及晶圓干燥方法

在審

• 申請號: 202110445987.8
• 申請日: 2021-04-25
• 公開（公告）號: CN113130357A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 姬丹丹
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 北京正和明知識產權代理事務所(普通合伙) 11845
• 代理人: 李芳芳

1.一種晶圓干燥系統，其特征在于，包括有機溶劑輸送單元、干燥氣體輸送單元、混合裝置、加熱裝置和干燥裝置，所述有機溶劑輸送單元和所述干燥氣體輸送單元均與所述混合裝置相連，所述混合裝置、所述加熱裝置和所述干燥裝置依次相連；

所述混合裝置，用于對所述有機溶劑輸送單元輸送的有機溶劑和所述干燥氣體輸送單元輸送的干燥氣體進行混合；

所述加熱裝置，用于對所述混合裝置混合后的混合流體進行加熱氣化；

所述干燥裝置，用于使用所述加熱裝置加熱氣化后的混合氣體對晶圓進行干燥。

2.如權利要求1所述的晶圓干燥系統，其特征在于，所述干燥氣體輸送單元還與所述干燥裝置直接連通，用于向所述干燥裝置輸送干燥氣體；

所述干燥裝置，還用于使用所述干燥氣體輸送單元輸送的干燥氣體對所述晶圓進行二次噴淋，以進一步干燥所述晶圓。

3.如權利要求1或2所述的晶圓干燥系統，其特征在于，所述有機溶劑輸送單元包括有機溶劑儲存裝置，所述有機溶劑儲存裝置與所述干燥氣體輸送單元相連通，所述干燥氣體輸送單元還用于通過向所述有機溶劑儲存裝置輸入干燥氣體，以將有機溶劑從所述有機溶劑儲存裝置壓入所述混合裝置。

4.如權利要求1所述的晶圓干燥系統，其特征在于，所述加熱裝置靠近所述干燥裝置，以使加熱氣化后的混合氣體能夠快速進入所述干燥裝置。

5.如權利要求1所述的晶圓干燥系統，其特征在于，所述加熱裝置內周設有加熱裝置保護層，用以隔離所述加熱裝置內外環境，所述加熱裝置內部還設有加熱元件和流體管道，所述流體管道貫通所述加熱裝置的入口和出口，所述加熱裝置的入口與所述混合裝置連通，所述加熱裝置的出口與所述干燥裝置連通；所述流體管道設置于所述加熱元件周圍，并采用往復彎折式布局。

6.如權利要求1所述的晶圓干燥系統，其特征在于，所述加熱裝置內周設有加熱裝置保護層，用以隔離所述加熱裝置內外環境；所述加熱裝置下部設有入口，與所述混合裝置相連；所述加熱裝置上部設有出口，與所述干燥裝置相連；所述加熱裝置內部還設置有加熱元件，所述加熱元件與所述加熱裝置保護層之間形成夾層，待加熱的混合流體從所述入口流入夾層，被加熱氣化后從所述出口輸出。

7.如權利要求1、5或6所述的晶圓干燥系統，所述加熱裝置內設置有溫度檢測機構，所述溫度檢測機構設置于所述加熱裝置的入口、中部和/或出口處，用于檢測所述加熱裝置的入口、中部和/或出口處的流體溫度。

8.如權利要求1所述的晶圓干燥系統，其特征在于，所述有機溶劑輸送單元和所述干燥氣體輸送單元的傳輸管道上均設有對進入所述混合裝置的被傳輸物進行檢測和調節的機構，所述機構用于根據檢測反饋的數據，調節有機溶劑和干燥氣體的配比。

9.一種基于權利要求1-8所述的晶圓干燥系統的晶圓干燥方法，其特征在于，所述晶圓干燥方法包括如下步驟：

通過所述混合裝置對所述有機溶劑輸送單元輸送的有機溶劑和所述干燥氣體輸送單元輸送的干燥氣體進行混合；

通過所述加熱裝置對所述混合裝置混合后的混合流體進行加熱氣化；

通過所述干燥裝置使用加熱氣化后的混合氣體對晶圓進行干燥。

10.如權利要求9所述的晶圓干燥方法，其特征在于，所述的通過所述混合裝置對所述有機溶劑輸送單元輸送的有機溶劑和所述干燥氣體輸送單元輸送的干燥氣體進行混合，包括：

通過所述干燥氣體輸送單元向所述有機溶劑儲存裝置輸入干燥氣體，以將有機溶劑從所述有機溶劑儲存裝置壓入所述混合裝置。