[發明專利]吸氣合金及其應用、吸氣靶材及吸氣薄膜

有效

• 申請號: 202110445026.7
• 申請日: 2021-04-24
• 公開（公告）號: CN113136504B
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 楊陽
• 申請（專利權）人: 楊陽
• 主分類號: C22C14/00
• 分類號: C22C14/00;C22C16/00;C22C27/00;C22C30/00;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/35;B81B7/00
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1.一種吸氣合金，其特征在于，包括以下元素：

其中，所述主體元素為Ti、Zr和Hf中的一種或多種；

所述RE選自：La、Ce、Nd、Pr、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Sc和Y中的一種或多種。

2.根據權利要求1所述的吸氣合金，其特征在于，所述主體元素為65wt％-80wt％，所述Mo為5wt％-16wt％，所述Co為0.1wt％-4.5wt％，所述Fe為0.1wt％-3.5wt％，所述RE為0.1wt％-3.5wt％，所述Al為0-1.8wt％，所述Cr為0-1.8wt％，所述Ni為0.1wt％-1.8wt％。

3.根據權利要求1所述的吸氣合金，其特征在于，所述Mo的含量為6wt％、8wt％或10wt％。

4.根據權利要求1所述的吸氣合金，其特征在于，所述Co的含量為2wt％、2.2wt％、2.4wt％、2.5wt％、3wt％、3.5wt％或4wt％。

5.根據權利要求1所述的吸氣合金，其特征在于，以重量百分含量計，所述吸氣合金選自：

Zr₇₈Mo₁₀Co₄Ce₃Fe₂Al₁Cr₁Ni₁、

Hf₇₈Mo₉Co₅Ce₃Fe₂Al₁Cr₁Ni₁、

Ti₇₇Zr₂Hf₁Mo₈Co₃Nd₂Ce₂Fe₂Al₁Cr₁Ni₁或

Zr_78.5Ti₂Hf_1.5Mo₈Co₂Pr₁Nd₂Fe₂Al₁Cr₁Ni₁。

6.一種吸氣靶材，其特征在于，包括權利要求1-5任一項所述的吸氣合金。

7.一種吸氣靶材的制備方法，其特征在于，包括以下方法：

將制備吸氣合金的各原料混合，得到混合料；

將所述混合料進行熔煉，制得合金靶坯；

將所述合金靶坯進行加工，制得所述吸氣靶材；

其中，所述吸氣合金為權利要求1-5任一項所述的吸氣合金。

8.一種吸氣薄膜，其特征在于，由吸氣靶材經物理氣相沉積工藝制備而成，其中，所述吸氣靶材為權利要求6所述的吸氣靶材或權利要求7所述制備方法制備而成的吸氣靶材。

9.一種吸氣薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供權利要求6所述的吸氣靶材或權利要求7所述制備方法制備而成的吸氣靶材；

采用物理氣相沉積工藝將所述吸氣靶材上的合金沉積至基體上，制得吸氣薄膜。

10.根據權利要求9所述的吸氣薄膜的制備方法，其特征在于，所述吸氣薄膜的吸氣性能為250～400℃，激活時間15～100min，初始吸氫速率96～1000ml/s.cm²；和/或

所述吸氣薄膜和所述基體的附著力為1～3.5N/cm；和/或

所述吸氣薄膜的厚度1-10μm。

11.一種MEMS器件，特征在于，包括：

權利要求8所述的吸氣薄膜；或

權利要求9或10所述制備方法制備而成的吸氣薄膜。