[發明專利]一種精拋液回收裝置

在審

• 申請號: 202110444064.0
• 申請日: 2021-04-23
• 公開（公告）號: CN113118973A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 安愛博;李文磊;嚴政先;許普增;趙欣;張晉英;張碧波;邊卓利;劉子申;孫晨光;王彥君
• 申請（專利權）人: 中環領先半導體材料有限公司;天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: B24B57/00
• 分類號: B24B57/00
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 薛萌萌

1.一種精拋液回收裝置，其特征在于：包括分液盒(1)，用于向分液盒(1)內排精拋液的分液管(2)，以及控制分液管(2)旋轉的旋轉組件；

分液盒(1)安裝在機臺安裝板(3)其中一側壁上，分液管(2)通過旋轉組件轉動安裝在機臺安裝板(3)另一側壁上，分液管(2)貫穿機臺架后延伸至分液盒(1)上方。

2.根據權利要求1所述的一種精拋液回收裝置，其特征在于：旋轉組件包括氣缸(5)、轉動組件(4)，氣缸(5)通過氣缸(5)固定板安裝在機臺安裝板(3)上，氣缸(5)杠桿端通過魚眼軸承(51)與轉動組件(4)連接，轉動組件(4)套接在分液管(2)上。

3.根據權利要求2所述的一種精拋液回收裝置，其特征在于：轉動組件(4)包括管套箍(41)、管套(42)、分液管固定架(43)，管套箍(41)、管套(42)、分液管固定架(43)分別套接在分液管(2)上，分液管固定架(43)一端固定在機臺安裝板(3)上，分液管固定架(43)上設有通孔，管套(42)安裝在通孔內，管套(42)(42)一端設有環形凸邊，管套(42)另一端貫穿通孔后與管套箍(41)套接，管套箍(41)上設有頂絲孔，頂絲孔內暗黃有頂絲，環形凸邊貼合于分液管固定架(43)一側的側壁，管套箍(41)通過頂絲頂緊在管套(42)上。

4.根據權利要求2所述的一種精拋液回收裝置，其特征在于：轉動組件(4)還包括卡箍(44)，卡箍(44)包括兩節，兩節卡箍(44)之間通過鎖緊螺栓連接，連接卡箍(44)套接在分液管(2)外壁，通過鎖緊螺栓將卡箍(44)與分液管(2)固定。

5.根據權利要求4所述的一種精拋液回收裝置，其特征在于：卡箍(44)上設有連接孔，連接孔內安裝有轉軸，轉軸一端安裝在氣缸(5)杠桿端部的魚眼軸承(51)內。

6.根據權利要求1所述的一種精拋液回收裝置，其特征在于：分液盒(1)包括精拋液回收腔(11)、清洗液回收腔(12)，精拋液回收腔(11)下方連接有第一排液管(111)，清洗液回收腔(12)下方連接有第二排液管(112)，第一排液管(111)另一端與中拋液分液盒(1)連接，第二排液管(112)另一端與回收池連接。

7.根據權利要求2所述的一種精拋液回收裝置，其特征在于：氣缸(5)底部通過氣缸(5)支架轉動安裝在氣缸(5)固定板上，氣缸(5)支架包括兩個，氣缸(5)底部向外延伸有兩個轉桿，兩個轉桿分別安裝在兩個氣缸(5)支架上。