[發(fā)明專利]一種雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型Mueller矩陣橢偏儀的補(bǔ)償器同步旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110441719.9
• 申請(qǐng)日: 2021-04-23
• 公開（公告）號(hào): CN113188457B
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張瑞;林聰;薛鵬;張欽圭;尚琰;徐躍;劉政杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中北大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06;G01J4/00
• 代理公司: 太原榮信德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 14119
• 代理人: 楊凱;連慧敏

本發(fā)明屬于補(bǔ)償器同步旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型Mueller矩陣橢偏儀的補(bǔ)償器同步旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，小同步齒輪、大同步齒輪與伺服電機(jī)軸伸端同軸固定連接，小同步齒輪通過(guò)第一齒形皮帶與第一錐齒輪同步齒輪嚙合，第一錐齒輪同步齒輪與第一直齒錐齒輪主動(dòng)輪同軸固定連接，第一直齒錐齒輪主動(dòng)輪與第一直齒錐齒輪從動(dòng)輪嚙合，大同步齒輪通過(guò)第二齒形皮帶與第二錐齒輪同步齒輪連接，第二錐齒輪同步齒輪與第二直齒錐齒輪主動(dòng)輪同軸固定連接，第二直齒錐齒輪主動(dòng)輪與第二直齒錐齒輪從動(dòng)輪嚙合。本發(fā)明通過(guò)一個(gè)伺服電機(jī)帶動(dòng)起偏臂和檢偏臂上的兩個(gè)相位補(bǔ)償器以不同的速度比同步旋轉(zhuǎn)，并且單伺服電機(jī)的控制方式和最終信號(hào)的觸發(fā)采集也更為簡(jiǎn)潔。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于補(bǔ)償器同步旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型Mueller矩陣橢偏儀的補(bǔ)償器同步旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

隨著電子產(chǎn)品向小型化、集成化方向發(fā)展，近幾年來(lái)，納米薄膜越來(lái)越多地出現(xiàn)在科研和工業(yè)產(chǎn)品中，在軍事設(shè)備中有廣泛的應(yīng)用前景。因此，對(duì)薄膜表征技術(shù)在分辨率和精度上提出了要求。薄膜厚度的測(cè)量方法可分為光學(xué)法和非光學(xué)法兩類。非光學(xué)法有電容法、力學(xué)顯微鏡測(cè)厚法、觸針?lè)ā⒈戎胤ā⒍糠ā⒍炕瘜W(xué)分析法等。非光學(xué)法只適用于較厚的膜，對(duì)于很薄的膜，雖然有一些精密的測(cè)量方法，但測(cè)量工序繁雜，有時(shí)還需在測(cè)量前對(duì)薄膜進(jìn)行處理。光學(xué)法主要有紅外光譜分析測(cè)厚法、射線測(cè)厚法、激光測(cè)厚法、光干涉法、橢偏測(cè)厚法等。

橢偏測(cè)厚法是通過(guò)同時(shí)測(cè)量反射光束的幅值衰減和相位改變來(lái)求得被測(cè)樣品的光學(xué)常數(shù)，橢偏儀就是通過(guò)檢測(cè)光的偏振特性進(jìn)行測(cè)量的一種科學(xué)儀器，Mueller矩陣橢偏儀是一種新型的橢偏儀，一次測(cè)量能夠得Mueller矩陣的16個(gè)測(cè)量參數(shù)，從而獲取更多樣品信息，雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型Mueller矩陣橢偏儀檢偏臂和起偏臂上各有一個(gè)穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)的補(bǔ)償器，光線從光源發(fā)出經(jīng)過(guò)起偏臂，再經(jīng)過(guò)樣品，反射回檢偏臂，在檢偏臂上的旋轉(zhuǎn)相位補(bǔ)償器穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)，經(jīng)過(guò)位補(bǔ)償器的出射光的相對(duì)相位差會(huì)發(fā)生連續(xù)周期性變化，這樣就可以通過(guò)旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器來(lái)控制相位變化，實(shí)現(xiàn)相位的調(diào)制。

現(xiàn)在大多數(shù)雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型Mueller矩陣橢偏儀的相位補(bǔ)償器的旋轉(zhuǎn)方法都采用雙電機(jī)形式，起偏臂和檢偏臂的相位補(bǔ)償器上個(gè)安裝一個(gè)電機(jī)帶動(dòng)相位補(bǔ)償器旋轉(zhuǎn)，這樣的方法確實(shí)可行，但是想要同步兩個(gè)電機(jī)的速度比較復(fù)雜，而且存在誤差，并且對(duì)最后信號(hào)的觸發(fā)采集也造成了困難。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)上述現(xiàn)在大多數(shù)雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型Mueller矩陣橢偏儀的相位補(bǔ)償器的旋轉(zhuǎn)同步兩個(gè)電機(jī)的速度比較復(fù)雜，而且存在誤差，并且對(duì)最后信號(hào)的觸發(fā)采集也造成了困難的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種成本低、效果好、誤差小的雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型Mueller矩陣橢偏儀的補(bǔ)償器同步旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：

一種雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型Mueller矩陣橢偏儀的補(bǔ)償器同步旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，包括小同步齒輪、大同步齒輪、伺服電機(jī)軸伸端、第一齒形皮帶、第一錐齒輪同步齒輪、第一直齒錐齒輪主動(dòng)輪、第一直齒錐齒輪從動(dòng)輪、第二齒形皮帶、第二錐齒輪同步齒輪、第二直齒錐齒輪主動(dòng)輪、第二直齒錐齒輪從動(dòng)輪，所述小同步齒輪、大同步齒輪與伺服電機(jī)軸伸端同軸固定連接，所述小同步齒輪通過(guò)第一齒形皮帶與第一錐齒輪同步齒輪嚙合，所述第一錐齒輪同步齒輪與第一直齒錐齒輪主動(dòng)輪同軸固定連接，所述第一直齒錐齒輪主動(dòng)輪與第一直齒錐齒輪從動(dòng)輪嚙合，所述大同步齒輪通過(guò)第二齒形皮帶與第二錐齒輪同步齒輪連接，所述第二錐齒輪同步齒輪與第二直齒錐齒輪主動(dòng)輪同軸固定連接，所述第二直齒錐齒輪主動(dòng)輪與第二直齒錐齒輪從動(dòng)輪嚙合。

所述第一直齒錐齒輪主動(dòng)輪通過(guò)第一法蘭盤安裝在第一直角鋁制結(jié)構(gòu)板上，所述第一直齒錐齒輪從動(dòng)輪通過(guò)第二法蘭盤安裝在第一直角鋁制結(jié)構(gòu)板上。

所述第二直齒錐齒輪主動(dòng)輪通過(guò)第三法蘭盤安裝在第二直角鋁制結(jié)構(gòu)板上，所述第二直齒錐齒輪從動(dòng)輪通過(guò)第四法蘭盤安裝在第二直角鋁制結(jié)構(gòu)板上。

所述小同步齒輪與大同步齒輪外徑比為3:5。