[發(fā)明專利]一種可調(diào)節(jié)導(dǎo)流筒及半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110440189.6
• 申請(qǐng)日: 2021-04-19
• 公開（公告）號(hào): CN113337880A
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 溫雅楠;金光勳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20
• 代理公司: 北京磐華捷成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11851
• 代理人: 謝栒

1.一種可調(diào)節(jié)導(dǎo)流筒，其特征在于，所述導(dǎo)流筒包括固定部和調(diào)節(jié)部，所述導(dǎo)流筒呈桶狀并繞晶棒四周設(shè)置，其中，

所述固定部上端向外延伸的部分固定于半導(dǎo)體生長(zhǎng)裝置上，所述固定部向下延伸的部分為逐漸向晶體靠近的斜面，所述固定部底部為靠近液面的平面，以控制與液面的最小距離；

所述調(diào)節(jié)部位于所述固定部的斜面上，所述調(diào)節(jié)部通過固定裝置固定于所述固定部的斜面上，所述調(diào)節(jié)部用于根據(jù)需要調(diào)整與晶棒之間的最小距離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)節(jié)導(dǎo)流筒，其特征在于，所述固定部與所述調(diào)節(jié)部一體成型，所述調(diào)節(jié)部為從所述固定部切割下來的一部分。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)節(jié)導(dǎo)流筒，其特征在于，所述固定部與所述調(diào)節(jié)部為石墨材料。

4.一種可調(diào)節(jié)導(dǎo)流筒，其特征在于，所述導(dǎo)流筒包括固定部、中間部和調(diào)節(jié)部，所述導(dǎo)流筒呈桶狀并繞晶棒四周設(shè)置，其中，

所述固定部上端向外延伸的部分固定于半導(dǎo)體生長(zhǎng)裝置上，所述固定部向下延伸的部分為逐漸向晶體靠近的斜面，所述固定部底部為靠近液面的平面，以控制與液面的最小距離；

所述中間部位于所述固定部的斜面上，所述中間部懸掛在所述固定部上，所述中間部的底部與所述固定部底部持平，以控制與液面的最小距離；

所述調(diào)節(jié)部位于所述中間部的斜面上，所述調(diào)節(jié)部通過固定裝置固定于所述中間部的斜面上，所述調(diào)節(jié)部用于根據(jù)需要調(diào)整與晶棒之間的最小距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可調(diào)節(jié)導(dǎo)流筒，其特征在于，所述中間部與所述調(diào)節(jié)部一體成型，所述調(diào)節(jié)部為從所述中間部切割下來的一部分。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可調(diào)節(jié)導(dǎo)流筒，其特征在于，所述固定部、所述中間部和所述調(diào)節(jié)部為石墨材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的可調(diào)節(jié)導(dǎo)流筒，其特征在于，所述固定裝置為螺栓。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的可調(diào)節(jié)導(dǎo)流筒，其特征在于，所述固定部還包括位于其中部的中間碳材料固化氈。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的可調(diào)節(jié)導(dǎo)流筒，其特征在于，所述導(dǎo)流筒由一個(gè)或更多個(gè)弧形部件拼接而成。

10.一種半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)裝置，其特征在于，包括爐體、坩堝、提拉裝置以及根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的可調(diào)節(jié)導(dǎo)流筒。