[發明專利]基于振鏡的高穩定性均勻積分球亮度源系統

在審

• 申請號: 202110437535.5
• 申請日: 2021-04-22
• 公開（公告）號: CN112964358A
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 劉志偉;徐楠;林永杰;趙偉強;劉文德;赫英威;甘海勇;林延東
• 申請（專利權）人: 中國計量科學研究院
• 主分類號: G01J1/08
• 分類號: G01J1/08;G01J1/04
• 代理公司: 北京中企鴻陽知識產權代理事務所(普通合伙) 11487
• 代理人: 郭晶晶

本發明涉及一種基于振鏡的高穩定性均勻積分球亮度源系統，包括依次設置的激光器、光闌、偏振器、功率穩定器、振鏡和積分球，振鏡與信號發生器連接；激光器，用于發射激光；光闌，用于調整光束大小；偏振器，用于調整光束的偏振方向，使光束的偏振方向與功率穩定器相匹配；功率穩定器，用于穩定光束；信號發生器，用于向振鏡發送變化的控制信號，使振鏡形成變化光場；積分球上設有光束入口、光束出口，光束入口與光束出口在同一直線上，積分球的光束出口處設有輻射亮度計，輻射亮度計放置在電動平移臺上，積分球的光束出口處設有監視探測器，監視探測器與電壓表連接。本發明將振鏡與積分球相結合能夠有效的抑制散斑，具有良好的穩定性和均勻性。

技術領域

本發明涉及積分球亮度源技術領域，特別是涉及一種基于振鏡的高穩定性均勻積分球亮度源系統。

背景技術

積分球光源因為其良好的均勻性、余弦特性和穩定性，被廣泛應用于光學定標領域。隨著相關應用領域的發展，使用積分球作為主要裝置的定標系統精度也在不斷地提高。但是積分球由于其構造的原因，出射光會存在散斑效應，這種散斑效應會影響積分球的穩定性和均勻性。

為了解決這種影響，研究者們發明了使用步進電機控制積分球內壁旋轉，以及使用柔性鉸鏈震動積分球等裝置，皆取得了不錯的效果。但是對于步進電機控制積分球內壁旋轉的方式，一般是將積分球內壁變為兩個獨立半球發生相對轉動來抑制散斑。這種方法由于半球間的不斷地機械運動會對積分球造成磨損，使部分區域反射效果降低，減少使用壽命，嚴重的還存在漏光問題；另外，這種方式會破壞積分球完整性，其性能會有所降低。對于使用柔性鉸鏈震動積分球球體的裝置，因為球體本身在震動，所以入光口和出光口也在不停震動，入射光束很難一直保證全部入射進積分球；同樣的，積分球出射光束也在不停振動，穩定性和均勻性都無法保證。上述兩種裝置，不管是使用電機還是鉸鏈，均有比較復雜的機械裝置，需要講究機械配合，安裝調試不方便。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種基于振鏡的高穩定性均勻積分球亮度源系統，以解決背景技術中所提到的問題。

本發明提供一種基于振鏡的高穩定性均勻積分球亮度源系統，包括依次設置的激光器、光闌、偏振器、功率穩定器、振鏡和積分球，所述振鏡與信號發生器連接；

所述激光器，用于發射激光；

所述光闌，用于調整光束大小；

所述偏振器，用于調整光束的偏振方向，使光束的偏振方向與所述功率穩定器相匹配；

所述功率穩定器，用于穩定光束；

所述信號發生器，用于向所述振鏡發送變化的控制信號，使所述振鏡形成變化光場；

所述積分球上設有光束入口、光束出口，所述光束入口與光束出口在同一直線上。

優選的是，所述積分球的光束出口處設有輻射亮度計，所述輻射亮度計放置在電動平移臺上。

在上述任一方案優選的是，所述積分球的光束出口處設有監視探測器，所述監視探測器與電壓表連接。

在上述任一方案優選的是，所述積分球內設有擋板，所述擋板設于所述光束入口與光束出口之間，且所述擋板與所述積分球同心設置，所述擋板的外周與所述積分球的內周之間形成光束通道，所述擋板安裝在支架上，所述支架的兩端與所述積分球的內壁固定。

在上述任一方案優選的是，所述擋板設為圓形擋板。

在上述任一方案優選的是，所述振鏡采用二維檢流計式振鏡。

與現有技術相比，本發明所具有的優點和有益效果為：

1、將振鏡與積分球相結合實現均勻穩定輻射源。

2、能夠有效的抑制散斑，且具有良好的穩定性和均勻性。